中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-500MK3
年式表記：
仕様:ガスH2 流量10lM W150 D60 H180
仕様:ガスH2 流量10lM W150 D60 H180
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
熱式のマスフローセンサーとピエゾ（またはソレノイド）駆動の制御弁を一体化したアナログ式のマスフローコントローラで、外部から与えた設定信号（0〜5 V）とセンサーの流量信号を比較し、その差がゼロになるよう制御弁を動かして流量を一定に保ちます。SEC-400シリーズはSTECのロングセラーで、SEC-400MK3とSEC-500MK3はそのローコストモデルにあたり、研究用のガス供給系、CVD・スパッタ装置、分析装置のキャリアガス制御などに広く使われています。流量信号は0〜5 Vのリニア出力で外部機器に取り出せます。現品はガス種H₂、フルスケール流量10 SLMで校正された個体です（登録寸法 W150×D60×H180 mm）。マスフローコントローラはガス種と流量レンジごとに校正されているため、他のガスで使う場合はコンバージョンファクターによる換算か再校正が必要です。中古品につき、ゼロ点のずれ、弁のシール性（バルブ閉時のリーク）、継手のシール面の状態を確認したうえでの使用が前提になります。
【AIによる参考仕様】
・校正ガス（現品登録情報）：H₂
・フルスケール流量（現品登録情報）：10 SLM
・設定・出力信号：0〜5 V（リニア）
・制御方式：熱式センサー＋制御弁の閉ループ制御（設定信号と流量信号の差をゼロにする）
・シリーズ内の位置づけ：SEC-400シリーズのローコストモデル
※精度・応答・供給電源（一般に±15 V DC）・継手規格・最大使用圧力はメーカー資料(アクセス制限)で未確認
※他ガスへの転用にはコンバージョンファクター換算または再校正が必要
熱式のマスフローセンサーとピエゾ（またはソレノイド）駆動の制御弁を一体化したアナログ式のマスフローコントローラで、外部から与えた設定信号（0〜5 V）とセンサーの流量信号を比較し、その差がゼロになるよう制御弁を動かして流量を一定に保ちます。SEC-400シリーズはSTECのロングセラーで、SEC-400MK3とSEC-500MK3はそのローコストモデルにあたり、研究用のガス供給系、CVD・スパッタ装置、分析装置のキャリアガス制御などに広く使われています。流量信号は0〜5 Vのリニア出力で外部機器に取り出せます。現品はガス種H₂、フルスケール流量10 SLMで校正された個体です（登録寸法 W150×D60×H180 mm）。マスフローコントローラはガス種と流量レンジごとに校正されているため、他のガスで使う場合はコンバージョンファクターによる換算か再校正が必要です。中古品につき、ゼロ点のずれ、弁のシール性（バルブ閉時のリーク）、継手のシール面の状態を確認したうえでの使用が前提になります。
【AIによる参考仕様】
・校正ガス（現品登録情報）：H₂
・フルスケール流量（現品登録情報）：10 SLM
・設定・出力信号：0〜5 V（リニア）
・制御方式：熱式センサー＋制御弁の閉ループ制御（設定信号と流量信号の差をゼロにする）
・シリーズ内の位置づけ：SEC-400シリーズのローコストモデル
※精度・応答・供給電源（一般に±15 V DC）・継手規格・最大使用圧力はメーカー資料(アクセス制限)で未確認
※他ガスへの転用にはコンバージョンファクター換算または再校正が必要