中古機 マスフローコントローラー（MFC） リンテック製、型式MC2100MOWRのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、各種産業プロセスや研究開発における気体流量の精密な計測および制御に広く用いられる、コンパクト設計の熱式マスフローコントローラです。優れた長期安定性を誇る細管式の熱式センサーと、応答性に優れた電磁式制御バルブを搭載しており、経時変化が少なく安定したプロセスガス制御を実現します。
本個体は水素ガス（H2）専用の仕様となっており、最大制御流量は200 SCCM（0℃、1気圧換算で毎分200ミリリットル）に調整されています。半導体製造装置、真空成膜装置、分析機器、あるいは燃料電池の研究用ガスラインなど、高純度ガスや可燃性ガスの微小流量制御に適しています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定および出力に対応しており、既存のアナログ制御システムやプロセス監視機器への組み込みが容易なモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: H2（水素）
* **最大制御流量**: 200 SCCM
* **流量制御範囲**: 2%～100% F.S.（4～200 SCCM）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（精度保証温度範囲：15～35℃）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 2.0秒以内（F.S. 0%から100%へのステップ応答において、最終値の±2%以内に到達する時間）
* **動作差圧範囲**: 49 kPa ～ 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部リークレート**: 1.0 × 10^-11 Pa・m3/s (He) 以下
* **バルブ閉時漏れ量**: 0.1% F.S. 以下
* **動作温度範囲**: 5～50℃
* **許容周囲湿度**: 10～90% RH（結露なきこと）
* **駆動電源**: DC ±15V ±5%（推奨消費電流：+15V 100mA / -15V 150mA）
* **制御信号（設定/出力）**: 0～5 VDC
* **バルブ動作形式**: 常時閉（ノーマリークローズ / N.C.）
* **バルブ位置**: 2次側（流出側）