中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、熱式センサーを用いたアナログ式のガス流量制御装置です。対象ガスはアルゴン（Ar）、制御流量は最大200SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に調整されています。サーマルセンサー、バイパス、電磁式コントロールバルブ、および駆動・制御回路を一体化した構造を持ち、半導体製造プロセス、薄膜形成、スパッタリング、CVDなどの各種真空・ガス導入ラインにおいて、高精度な気流制御を担う標準的なデバイスです。ガスの質量流量を直接測定するため、外部の温度や圧力変動の影響を受けにくく、安定したガス供給を実現します。駆動電源には±15V DC、流量設定および出力信号には0〜5V DCのアナログ信号を使用するため、既存のアナログ制御システムや各種PLC回路への統合が容易です。

【AIによる参考仕様】
- **対応ガス**: Ar（アルゴン）
- **流量制御範囲（フルスケール）**: 200 SCCM
- **制御方式**: 熱式質量流量測定、電磁式比例バルブ制御（通常時閉：ノーマリークローズ）
- **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
- **直線性**: ±0.5% F.S.
- **再現性**: ±0.2% F.S.
- **応答速度**: 2秒以内（設定値の±2%以内に到達）
- **動作差圧範囲**: 0.07 MPa ～ 0.28 MPa（10 ～ 40 psid）
- **耐圧力**: 最大 1.0 MPa（150 psig）
- **外部リーク量**: 1 × 10^-9 atm・cc/sec（He）以下
- **駆動電源**: ±15 VDC（許容変動 ±5%以内）
- **流量設定信号（入力）**: 0 ～ 5 VDC
- **流量出力信号（モニター）**: 0 ～ 5 VDC
- **電気コネクタ**: D-sub 15ピン（オス）
- **ガス継手**: 1/4インチ（※実機の仕様によりSwagelok、VCRなどの形状が適用されます。実物をご確認ください）