中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや真空成膜システムなどの精密なガス制御分野において、安定した稼働実績を持つアナログ制御方式のマスフローコントローラです。熱式流量センサーと電磁式比例弁を組み合わせることで、ガス流量の変動に対して素早い応答性と高い再現性を発揮します。本個体はアルゴン（Ar）ガス専用に調整されており、最大300 SCCMまでの微少な流量領域を正確にコントロール可能です。接続部は1/4インチのスウェジロック継手仕様となっており、一般的な半導体配管や理化学機器のラインへ容易に組み込むことができます。信頼性の高いハードウェア構成により、研究開発用途から量産ラインの補修用・交換用パーツとして幅広く対応します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: アルゴン（Ar）
* **最大流量**: 300 SCCM
* **継手サイズ**: 1/4インチ Swagelok
* **外形寸法**: W115 mm × D35 mm × H130 mm
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（NC / 常時閉）
* **制御方式**: アナログ（0～5 VDC 流量設定・出力信号）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **再現性**: ±0.2% F.S.以内
* **応答速度**: 約2秒以下
* **動作差圧範囲**: 約 100 kPa ～ 300 kPa (ガス仕様による参考値)
* **耐圧**: 最大 1.0 MPa (参考値)