中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:O2 流量:3LM
仕様:ガス:O2 流量:3LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、長年にわたり半導体製造ラインや各種産業プロセスで高い実績と信頼性を誇る、アナログインターフェース搭載の熱式マスフローコントローラーです。温度変化に強い高精度なセンサーと、追従性に優れたソレノイド駆動のコントロールバルブを組み合わせることで、安定したガス流量制御を実現します。ガス種はO2（酸素）、最大制御流量は3 LM（3 L/min / 3 SLM）に設定されています。アナログ信号（0〜5VDC）による外部制御に対応し、シンプルなシステム構成から既存設備のリプレイスまで幅広く適応します。
【AIによる参考仕様】
* **制御ガス種：** O2（酸素）
* **最大流量：** 3 LM（3 L/min / 3 SLM）
* **流量制御範囲：** 2〜100% F.S.（フルスケール）
* **精度：** ±1.0% F.S.（※シリーズ標準値、仕様による）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 約2〜3秒以下（目標流量の±2%以内に到達する時間）
* **バルブ形式：** 常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **動作差圧範囲：** 50〜300 kPa（※流量仕様による参考値）
* **耐圧：** 1.0 MPa（ゲージ圧）
* **外部制御信号：**
* 流量設定信号：0〜5 VDC
* 流量出力信号：0〜5 VDC
* **動作環境温度：** 5〜50℃
* **接ガス部材質：** SUS316L、SUS316、PTFE、フッ素ゴム等
* **継手サイズ：** 1/4インチ（RC、Swagelok、またはVCRタイプ ※現物優先）
* **必要電源：** +15 VDC ±5% 60mA、-15 VDC ±5% 180mA
本装置は、長年にわたり半導体製造ラインや各種産業プロセスで高い実績と信頼性を誇る、アナログインターフェース搭載の熱式マスフローコントローラーです。温度変化に強い高精度なセンサーと、追従性に優れたソレノイド駆動のコントロールバルブを組み合わせることで、安定したガス流量制御を実現します。ガス種はO2（酸素）、最大制御流量は3 LM（3 L/min / 3 SLM）に設定されています。アナログ信号（0〜5VDC）による外部制御に対応し、シンプルなシステム構成から既存設備のリプレイスまで幅広く適応します。
【AIによる参考仕様】
* **制御ガス種：** O2（酸素）
* **最大流量：** 3 LM（3 L/min / 3 SLM）
* **流量制御範囲：** 2〜100% F.S.（フルスケール）
* **精度：** ±1.0% F.S.（※シリーズ標準値、仕様による）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答速度：** 約2〜3秒以下（目標流量の±2%以内に到達する時間）
* **バルブ形式：** 常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **動作差圧範囲：** 50〜300 kPa（※流量仕様による参考値）
* **耐圧：** 1.0 MPa（ゲージ圧）
* **外部制御信号：**
* 流量設定信号：0〜5 VDC
* 流量出力信号：0〜5 VDC
* **動作環境温度：** 5〜50℃
* **接ガス部材質：** SUS316L、SUS316、PTFE、フッ素ゴム等
* **継手サイズ：** 1/4インチ（RC、Swagelok、またはVCRタイプ ※現物優先）
* **必要電源：** +15 VDC ±5% 60mA、-15 VDC ±5% 180mA