中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発分野において安定した実績を持つ、アナログ制御方式のエラストマーシール（ゴムシール）型マスフローコントローラーです。
不活性ガスから腐食性・反応性ガスまで幅広く対応する設計がなされており、本個体はSF6（六フッ化硫黄）ガス専用、最大流量200SCCM（標準状態におけるミリリットル/分）仕様として調整されています。SF6は主にシリコンや酸化膜等のドライエッチングプロセス、またはCVD装置のクリーニングガスとして多用されるガスです。
応答性に優れた高速比例電磁バルブと、高精度な熱式流量センサを搭載しており、設定値に対して迅速かつ正確なガス流量制御を実現します。制御信号および出力信号には標準的な0〜5 VDCのアナログ電圧信号を採用しているため、既存の自動制御システムや評価試験設備への組み込み・置き換えが容易な汎用性の高いモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**：SF6（六フッ化硫黄）
* **最大流量レンジ（フルスケール）**：200 SCCM
* **シール材質**：エラストマーシール
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：2.0秒以下（設定値付近への到達時間）
* **バルブ動作形式**：ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **制御信号（入力）**：0 ～ 5 VDC
* **流量出力信号（出力）**：0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC（±5%）
* **電気コネクタ**：D-sub 9ピン（アナログインターフェース）
* **動作温度範囲**：5 ～ 45℃
* **動作差圧範囲**：49 ～ 294 kPa（標準的な動作推奨差圧）
* **耐圧性能**：980 kPa