中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-780C
年式表記：
仕様:ガス:SF6 流量:200SCCM
仕様:ガス:SF6 流量:200SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種薄膜形成プロセスにおいて、気体の質量流量を高い再現性で測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。導入されたガス流量を内部センサーで検出し、外部からの設定信号と比較してバルブ開度を微調整することで、常に一定の流量を維持します。
本個体は、SF6（六フッ化硫黄）ガス向けに調整されており、最大流量200 SCCMまでの精密な制御が可能です。ガス非接触部および接ガス部のシールには、実績のあるエラストマー（FKM等）を採用しており、外部へのガス漏洩を最小限に抑えつつ安定した動作を提供します。制御方式はアナログ電圧（0〜5 VDC）に対応しており、既存のアナログ制御システムや真空装置への組み込み、リプレイスに柔軟に対応します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：SF6（六フッ化硫黄）
・最大制御流量（フルスケール）：200 SCCM
・シール材質：エラストマー
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.
・直線性：±0.5% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答時間：2.0秒以下（設定変更後、±2%以内に安定するまでの時間）
・動作差圧範囲：98 kPa ～ 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リーク量：1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec（He）以下
・アナログ制御信号（設定入力/流量出力）：0 ～ 5 VDC
・駆動電源：+15 VDC（±5%） 50mA / -15 VDC（±5%） 150mA
・主要接ガス部材質：SUS316L、SUS316、PTFE、エラストマー
・接続継手：1/4インチ VCR相当
※上記はメーカーのシリーズ共通仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の接続口径や仕様は現物優先となります。
本装置は、半導体製造や各種薄膜形成プロセスにおいて、気体の質量流量を高い再現性で測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。導入されたガス流量を内部センサーで検出し、外部からの設定信号と比較してバルブ開度を微調整することで、常に一定の流量を維持します。
本個体は、SF6（六フッ化硫黄）ガス向けに調整されており、最大流量200 SCCMまでの精密な制御が可能です。ガス非接触部および接ガス部のシールには、実績のあるエラストマー（FKM等）を採用しており、外部へのガス漏洩を最小限に抑えつつ安定した動作を提供します。制御方式はアナログ電圧（0〜5 VDC）に対応しており、既存のアナログ制御システムや真空装置への組み込み、リプレイスに柔軟に対応します。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：SF6（六フッ化硫黄）
・最大制御流量（フルスケール）：200 SCCM
・シール材質：エラストマー
・流量制御範囲：2% ～ 100% F.S.
・流量測定精度：±1.0% F.S.
・直線性：±0.5% F.S.以内
・再現性：±0.2% F.S.以内
・応答時間：2.0秒以下（設定変更後、±2%以内に安定するまでの時間）
・動作差圧範囲：98 kPa ～ 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・外部リーク量：1.0 × 10⁻⁸ Pa・m³/sec（He）以下
・アナログ制御信号（設定入力/流量出力）：0 ～ 5 VDC
・駆動電源：+15 VDC（±5%） 50mA / -15 VDC（±5%） 150mA
・主要接ガス部材質：SUS316L、SUS316、PTFE、エラストマー
・接続継手：1/4インチ VCR相当
※上記はメーカーのシリーズ共通仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の接続口径や仕様は現物優先となります。