中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-781Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を正確に測定し、一定に制御する熱式マスフローコントローラーです。大流量向けの設計が施されたモデルであり、本個体は窒素（N2）ガス用に調整され、最大50 SLM（Standard Liter per Minute）までの制御に対応しています。

動作には±15 VDCの外部電源を使用し、制御信号および流量出力信号として0〜5 VDCのアナログ入出力方式を採用しています。長年にわたり半導体製造装置、CVD、熱処理炉、気密性試験装置など、様々な産業プロセスにおける大流量ガス供給ラインで安定した稼働実績を持つ信頼性の高いプラットフォームです。堅牢な構造とアナログ制御ならではのシンプルなシステム構成により、既存設備のメンテナンス用交換部品や研究開発用のガス制御ライン構築に適しています。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**：窒素（N2）
* **最大流量レンジ**：50 SLM
* **流量制御範囲**：2%〜100% F.S.
* **入出力信号**：0〜5 VDC（アナログ）
* **電源電圧**：±15 VDC
* **バルブ形式**：常時閉（Normally Closed）
* **精度**：±1.0% F.S.
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答時間**：約2〜4秒
* **耐圧（最大動作圧力）**：1.0 MPa以下
* **外観寸法**：W150 × D40 × H155 mm（継手・突起部含む概算）