中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガス:SF6 流量:100SCCM
仕様:ガス:SF6 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究分野で高い実績を持つアナログ制御方式のマスフローコントローラー（MFC）です。熱式センサーと高精度な電磁式コントロールバルブを搭載し、導入ガスの質量流量を高い再現性で測定・制御します。本個体はSF6（六フッ化硫黄）ガス用に調整されており、最大100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密な流量制御に対応します。アナログ信号（0〜5 VDC）による制御インターフェースを採用しているため、既存のアナログ制御システムや集中管理盤への組み込み、置き換えが容易です。エッチングプロセスや特殊ガス制御など、シビアな流量安定性が求められる環境に最適です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** SF6（六フッ化硫黄）
* **最大制御流量（フルスケール）：** 100 SCCM
* **バルブ動作形式：** ノーマリークローズ（NC / 非通電時閉）
* **流量制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以内（設定値の±2%以内への到達時間）
* **動作差圧範囲：** 0.05 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧：** 1.0 MPa
* **外部入出力信号：** 0 〜 5 VDC（流量設定入力・流量出力信号）
* **電源電圧：** ±15 VDC（推奨許容変動 ±5%以内）
* **電気コネクタ：** D-sub 15ピン（オス）
* **シール材質：** フッ素ゴム（バイトン等）
* **継手仕様：** 1/4インチ VCR（または1/4インチダブルフェルール等、現品確認を推奨）
※上記仕様はメーカーの標準的なカタログ値に基づく参考情報であり、実際の経年変化や校正状態により異なる場合があります。
本装置は、半導体製造プロセスや各種工業・研究分野で高い実績を持つアナログ制御方式のマスフローコントローラー（MFC）です。熱式センサーと高精度な電磁式コントロールバルブを搭載し、導入ガスの質量流量を高い再現性で測定・制御します。本個体はSF6（六フッ化硫黄）ガス用に調整されており、最大100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの精密な流量制御に対応します。アナログ信号（0〜5 VDC）による制御インターフェースを採用しているため、既存のアナログ制御システムや集中管理盤への組み込み、置き換えが容易です。エッチングプロセスや特殊ガス制御など、シビアな流量安定性が求められる環境に最適です。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** SF6（六フッ化硫黄）
* **最大制御流量（フルスケール）：** 100 SCCM
* **バルブ動作形式：** ノーマリークローズ（NC / 非通電時閉）
* **流量制御精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性：** ±0.5% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **応答時間：** 2秒以内（設定値の±2%以内への到達時間）
* **動作差圧範囲：** 0.05 MPa 〜 0.3 MPa
* **耐圧：** 1.0 MPa
* **外部入出力信号：** 0 〜 5 VDC（流量設定入力・流量出力信号）
* **電源電圧：** ±15 VDC（推奨許容変動 ±5%以内）
* **電気コネクタ：** D-sub 15ピン（オス）
* **シール材質：** フッ素ゴム（バイトン等）
* **継手仕様：** 1/4インチ VCR（または1/4インチダブルフェルール等、現品確認を推奨）
※上記仕様はメーカーの標準的なカタログ値に基づく参考情報であり、実際の経年変化や校正状態により異なる場合があります。