中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410NC
年式表記：
仕様:ガス:O2 流量:5SLM
仕様:ガス:O2 流量:5SLM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するエラストマーシール（ゴムシール）仕様の熱式マスフローコントローラーです。制御バルブには、無通電時に弁が閉塞するノーマリークローズ（NC）方式を採用しており、異常発生時や停電時にもガス供給を安全に自動遮断します。
本構成は酸素（O2）用に調整されており、最大制御流量は5 SLM（Standard Liters per Minute）です。測定部には安定した温度分布検知を行う熱式センサー、駆動部には微細な開度調整が可能なソレノイドアクチュエータを搭載し、フルスケールに対して±1.0%の高精度な流量制御を実現します。外部制御信号には、標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を採用しており、既存のアナログ制御システムや各種測定器、PC制御システムへ容易に組み込むことが可能です。理化学、各種実験、工業用プロセスなどでのガス流量制御用途として、安定したパフォーマンスを提供します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 酸素（O2）
* **最大制御流量（F.S.）**: 5 SLM
* **バルブ初期状態**: ノーマリークローズ（Normally Closed / 無通電時閉）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S. （精度保証温度範囲：15℃〜35℃）
* **直線性**: ±0.5% F.S. 以内
* **繰り返し性**: ±0.2% F.S. 以内
* **応答速度**: 5秒以下（全領域）
* **動作差圧**: 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **外部リーク量**: 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
* **バルブ座漏れ（シートリーク）**: 1.0 × 10⁻⁷ Pa・m³/s (He) 以下
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 45℃（精度保証：15℃ 〜 35℃）
* **電気接続および信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ設定入力および流量出力信号）
* **駆動電源**: DC ±15V ±5%
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御するエラストマーシール（ゴムシール）仕様の熱式マスフローコントローラーです。制御バルブには、無通電時に弁が閉塞するノーマリークローズ（NC）方式を採用しており、異常発生時や停電時にもガス供給を安全に自動遮断します。
本構成は酸素（O2）用に調整されており、最大制御流量は5 SLM（Standard Liters per Minute）です。測定部には安定した温度分布検知を行う熱式センサー、駆動部には微細な開度調整が可能なソレノイドアクチュエータを搭載し、フルスケールに対して±1.0%の高精度な流量制御を実現します。外部制御信号には、標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力を採用しており、既存のアナログ制御システムや各種測定器、PC制御システムへ容易に組み込むことが可能です。理化学、各種実験、工業用プロセスなどでのガス流量制御用途として、安定したパフォーマンスを提供します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: 酸素（O2）
* **最大制御流量（F.S.）**: 5 SLM
* **バルブ初期状態**: ノーマリークローズ（Normally Closed / 無通電時閉）
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S. （精度保証温度範囲：15℃〜35℃）
* **直線性**: ±0.5% F.S. 以内
* **繰り返し性**: ±0.2% F.S. 以内
* **応答速度**: 5秒以下（全領域）
* **動作差圧**: 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **外部リーク量**: 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/s (He) 以下
* **バルブ座漏れ（シートリーク）**: 1.0 × 10⁻⁷ Pa・m³/s (He) 以下
* **動作温度範囲**: 5℃ 〜 45℃（精度保証：15℃ 〜 35℃）
* **電気接続および信号**: 0 〜 5 VDC（アナログ設定入力および流量出力信号）
* **駆動電源**: DC ±15V ±5%