中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成、研究開発において、プロセスガスの質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラーです。長年にわたり業界で広く採用されてきた実績を持ち、高い信頼性と安定した制御動作を特徴としています。

本個体は、半導体プロセスなどで一般的に使用される特殊材料ガスであるシラン（SiH4）用に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は500 SCCMに設定されています。
ガス接触部のシール部材にはエラストマー（バイトン等）を採用しており、気密性を確保しつつスムーズな流量調整を行います。制御信号には標準的なアナログの0〜5 VDC入出力を使用し、ステップ応答に対しては2秒以下で設定値に達する優れた応答性能を誇ります。既存のレガシーシステムにおけるパーツ交換や、大学・研究機関等の試験・実験用ラインの構築に最適なコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：SiH4（シラン）
・フルスケール流量：500 SCCM
・制御範囲：2% 〜 100% F.S.
・流量精度：±1.0% F.S.
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（設定値の±2%以内）
・動作差圧範囲：98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧：980 kPa
・動作温度範囲：5℃ 〜 50℃
・シール材質：エラストマー（FKM等）
・入出力信号：0 〜 5 VDC
・駆動電源：±15 VDC (±5%)
・電気コネクタ：20ピン カードエッジコネクタ