中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-790Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、優れた信頼性と精密な流量制御性能を備えたメタルシール（金属ガスケット）仕様のアナログマスフローコントローラー（MFC）です。腐食性の強い塩素ガス（CL2）に対応し、フルスケール流量100 SCCMの精密な流量制御に適した設計がなされています。接ガス部に耐食性に優れた金属材料を採用し、シール部をメタル仕様とすることで、外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで抑制。大気成分の混入やガス漏出を防ぎ、真空装置や半導体プロセスラインなどの高真空環境下において高い安全性と再現性を提供します。駆動電源には標準的な±15 VDC、制御信号には0〜5 VDCのアナログインターフェースを使用するため、既存の制御システムへの組み込みや、同規格品からの置き換えが容易な点も特徴です。

【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CL2（塩素）
・フルスケール流量：100 SCCM
・シール構造：メタルシール（金属ガスケット）
・流量制御精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・直線性：±0.5% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2秒以下（代表値）
・動作差圧範囲：約70 kPa 〜 275 kPa
・耐圧性能：最高使用圧力 1.0 MPa
・外部リーク量：1.0 × 10^-9 atm・cc/sec（He）以下
・制御入出力信号：0 〜 5 VDC（アナログ）
・動作電源：±15 VDC（±5%）
・バルブ動作：ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
・接ガス部材質：ステンレス鋼SUS316L、耐食合金等
・推奨継手：1/4インチ VCR相当