中古機 マスフローコントローラー（MFC） リンテック製、型式MC-3102L-NC-4JR2AAA00のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、ガス流量の精密な制御を可能にする熱式デジタルマスフローコントローラーです。制御プロセスにおける高い再現性と応答性を備えたデジタル仕様であり、ガスの微小流量を安定的かつ迅速にコントロールします。
本個体は非通電時にバルブが閉じる安全性の高いノーマリークローズ（NC）タイプで、シール部にはフッ素ゴム等のエラストマー素材を使用した「Lシリーズ」に該当します。流量仕様はN2（窒素ガス）において100 SCCMに設定されており、緻密なガス供給管理が求められる研究開発やプロセス制御に適しています。接続口には、ガス漏洩リスクを極めて低く抑える1/4インチのVCR互換継手が採用されており、高気密な配管ラインへの組み込みが可能です。

【AIによる参考仕様】
* **装置タイプ**: 熱式デジタルマスフローコントローラー（エラストマーシール仕様）
* **対象ガス**: N2（窒素）
* **フルスケール流量**: 100 SCCM
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（NC：非通電時閉）
* **配管接続継手**: 1/4インチ VCR互換継手
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 1.0秒以下（全域）
* **耐圧力**: 1.0 MPa
* **動作差圧**: 50 kPa ～ 300 kPa
* **外部漏洩保証値**: 1 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
* **主要接ガス部材質**: SUS316L、フッ素ゴム
* **電源および入出力信号**: DC±15V（D-sub 9ピンコネクタ）