中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-780Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや精密化学実験などにおいて、気体の質量流量を正確に測定および制御するアナログ駆動型の制御装置です。本個体は、ガス種としてCHCL3（クロロホルム）、最大流量（フルスケール）として20 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様で調整・校正されています。

制御方式には、産業界で長年の実績があるアナログ方式を採用しており、外部から入力する0〜5 VDCの流量設定信号によって高精度な流量制御を行います。また、現在の実流量を0〜5 VDCのモニター信号としてリアルタイムに出力するため、外部システムでの監視が容易です。内部の制御バルブは、非通電時に自動的に流路を閉止する常時閉（Normally Closed）タイプとなっており、プロセスの安全性確保に寄与します。シール部には耐薬品性に配慮したエラストマー（ゴム）素材を使用しており、信頼性の高い気密性を確保しながら安定した微小流量制御を実現します。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス種**: CHCL3（クロロホルム）
* **フルスケール流量**: 20 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（0.4 ～ 20 SCCM）
* **バルブ動作形式**: 常時閉（Normally Closed）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 約2秒（ステップ応答において最終値の±2%以内に到達する時間）
* **動作差圧範囲**: 98 kPa ～ 294 kPa
* **耐圧**: 980 kPa
* **外部制御信号**:
* 流量設定入力：0 ～ 5 VDC
* 流量出力モニター：0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: DC ±15V ±5%
* **電気コネクタ**: D-sub 9ピン（プラグ）
* **シール材質**: フッ素ゴム（エラストマー）
* **接ガス部材質**: SUS316L、およびフッ素ゴム