中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
リンテック
型式MC-2300RC-4.0-C3
年式表記：
仕様:
仕様:
本体価格(税別、送料別)
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【AIによる装置概要】
本装置は、高精度な熱式質量流量センサーと高速応答の電磁式制御バルブを一体化したマスフローコントローラーです。気密性と耐久性に優れたフッ素ゴム（FKM）によるラバーシール仕様を採用しており、一般産業プロセスや研究開発用途における各種ガス制御に適しています。窒素（N2）換算で最大4.0 SLM（L/min）のフルスケール流量に対応し、±1.0% F.S.の高精度な流量制御を実現します。継手部には、高い面シール信頼性を持つ3/8インチVCRオス（C3規格）を装備しており、気密性が求められる配管システムへ容易に導入可能です。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定およびモニター出力に対応しており、外部システムからのリアルタイムな流量監視と制御を可能にします。
【AIによる参考仕様】
* **制御方式**：熱式質量流量制御方式
* **流量制御範囲（N2換算）**：最大 4.0 SLM（L/min）
* **シール構造**：ラバーシール（FKM / フッ素ゴム）
* **継手サイズ・形状**：3/8インチ VCRオス（C3）
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答速度**：2.0秒以内（F.S. 98%到達時間）
* **バルブ動作形式**：ノーマリークローズ（N.C. / 非通電時閉）
* **動作差圧範囲**：50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10^-6 Pa・m³/sec (He) 以下
* **電気信号（アナログ）**：
* 流量設定信号（入力）：0 〜 5 VDC
* 流量出力信号（モニター）：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：DC ±15 V ±5%
* **消費電流**：+15V：約100mA / -15V：約150mA
* **接続コネクタ**：D-sub 9ピン（ピンコネクタ）
* **使用周囲温度**：5 〜 50℃（精度保証温度範囲：15 〜 35℃）
* **接ガス部主要材質**：SUS316、SUS316L、FKM
本装置は、高精度な熱式質量流量センサーと高速応答の電磁式制御バルブを一体化したマスフローコントローラーです。気密性と耐久性に優れたフッ素ゴム（FKM）によるラバーシール仕様を採用しており、一般産業プロセスや研究開発用途における各種ガス制御に適しています。窒素（N2）換算で最大4.0 SLM（L/min）のフルスケール流量に対応し、±1.0% F.S.の高精度な流量制御を実現します。継手部には、高い面シール信頼性を持つ3/8インチVCRオス（C3規格）を装備しており、気密性が求められる配管システムへ容易に導入可能です。アナログ信号（0〜5 VDC）による流量設定およびモニター出力に対応しており、外部システムからのリアルタイムな流量監視と制御を可能にします。
【AIによる参考仕様】
* **制御方式**：熱式質量流量制御方式
* **流量制御範囲（N2換算）**：最大 4.0 SLM（L/min）
* **シール構造**：ラバーシール（FKM / フッ素ゴム）
* **継手サイズ・形状**：3/8インチ VCRオス（C3）
* **流量制御精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**：±0.2% F.S.
* **応答速度**：2.0秒以内（F.S. 98%到達時間）
* **バルブ動作形式**：ノーマリークローズ（N.C. / 非通電時閉）
* **動作差圧範囲**：50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧**：1.0 MPa (G)
* **外部リーク量**：1 × 10^-6 Pa・m³/sec (He) 以下
* **電気信号（アナログ）**：
* 流量設定信号（入力）：0 〜 5 VDC
* 流量出力信号（モニター）：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：DC ±15 V ±5%
* **消費電流**：+15V：約100mA / -15V：約150mA
* **接続コネクタ**：D-sub 9ピン（ピンコネクタ）
* **使用周囲温度**：5 〜 50℃（精度保証温度範囲：15 〜 35℃）
* **接ガス部主要材質**：SUS316、SUS316L、FKM