中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-410のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。内部シールにエラストマー（フッ素ゴム）を採用しており、半導体製造プロセスをはじめ、各種理化学機器や産業用ガス供給ラインにおいて、多種多様なプロセスガスの安定制御に適しています。温度や圧力の変動に影響を受けにくい熱式センサーの搭載により、設定値に対する高い再現性と安定性を維持します。標準的な0〜5 VDCのアナログ入出力信号に対応しており、既存の制御システムへの組み込みやリプレイスが容易です。小流量から中流量域のガス制御において、信頼性の高いノーマリークローズ（N.C.）動作のバルブ機構を備えた、業界標準的な流量制御デバイスです。

【AIによる参考仕様】
* **制御流量範囲（フルスケール）**: 10 sccm 〜 10 slm（N2換算。※実機の個体仕様により異なります）
* **流量制御範囲**: 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答速度**: 2秒以下（F.S. 98%到達時間）
* **バルブ動作形式**: ノーマリークローズ（N.C. / 無通電時閉）
* **シール材質**: エラストマー（フッ素ゴム）
* **動作差圧範囲**: 50 kPa 〜 300 kPa（流量仕様による）
* **耐圧**: 1.0 MPa（ゲージ圧）
* **外部リーク量**: 1 × 10^-11 Pa・m³/sec (He) 以下
* **入出力信号（アナログ）**: 0 〜 5 VDC
* **駆動電源**: DC±15V ±5%（消費電流：+15V 50mA以下 / -15V 150mA以下）
* **動作温度範囲**: 5 ℃ 〜 45 ℃
* **ガス接触部主要材質**: SUS316、SUS316L、フッ素ゴム