中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-3400SM-SPのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高度なガス流量制御プロセスで広く使用されている、熱式質量流量コントローラ（MFC）です。センサー部に高精度なキャピラリーセンサーを搭載しており、ガスの質量流量を温度変化として検出することで、周囲の圧力や温度変化に左右されない極めて安定した流量制御を実現します。制御バルブには、微少流量から中流量域まで精密に追従する電磁式バルブが採用されています。

本個体は、仕様として水素（H2）ガス用、最大制御流量50 SCCM（CCM）に調整されており、実験室レベルのプロセスから小規模な生産ラインまで対応可能です。さらに、専用の電源表示設定器（マルチトランスデューサー）であるMT-3000が付属しているため、外部に複雑な制御システムを構築することなく、単体での流量設定および現在値のデジタル表示が容易に行えます。メタルシール構造を採用しているため、外部へのガス漏洩や大気混入を極限まで抑えたい高真空・高純度ガスプロセスに最適です。

【AIによる参考仕様】
※仕様はメーカー標準仕様（SEC-3000シリーズ/SEC-3400SM）に基づく参考値です。現物の実仕様ガス種・流量（H2 50CCM）と合わせてご確認ください。

* **流量制御範囲（本機設定）：** 0～50 SCCM（CCM）
* **対応ガス種（本機設定）：** 水素（H2）
* **シール構造：** メタルシール
* **バルブ形式：** 常閉（Normally Closed / N.C.）
* **応答速度：** 約1秒以下（代表値）
* **精度：** ±1.0% F.S.
* **再現性：** ±0.2% F.S.以下
* **動作温度範囲：** 5～50℃
* **耐圧：** 1.0 MPa（ゲージ圧）
* **入出力信号：** アナログ（0-5 VDC または 4-20 mA）
* **継手サイズ：** 1/4インチ（VCR相当）
* **付属表示器（MT-3000）仕様：**
* 電源：AC 100V（50/60Hz）
* 表示：4桁デジタル表示
* 機能：流量設定、流量監視、ゼロ点調整機能