中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1200のご紹介

【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造プロセスや精密化学実験、各種薄膜堆積装置など、厳密なガス流量管理が必要とされる用途に広く採用されてきたアナログ式の熱式質量流量制御装置です。流体の温度や圧力の変動に左右されず、ガスの質量流量を直接計測・制御する熱式センサー技術を搭載しており、安定したプロセス制御を実現します。

本個体は、ガス種「O2（酸素）」、最大流量「20 SCCM」に調整された仕様となっており、微少流量域における正確な酸素供給や、緻密な雰囲気制御に適しています。外部との制御信号には標準的な0～5 VDCのアナログ電圧信号を採用しており、既存のアナログ制御システムや各種PLC、外部監視機器への組み込みや置き換えが容易です。長年にわたり現場で培われた堅牢なハードウェア設計により、優れた再現性と長期安定動作を提供します。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス**: O2（酸素）
* **フルスケール流量**: 20 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（0.4 ～ 20 SCCM）
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.15% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下
* **動作差圧範囲**: 70 ～ 280 kPa（10 ～ 40 psid）
* **最大耐圧**: 1.03 MPa（150 psig）
* **動作温度範囲**: 5 ～ 50 ℃
* **制御信号（入力/出力）**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: +15 VDC / -15 VDC
* **主なシール材質**: エラストマー（フッ素ゴム等）
* **継手サイズ**: 1/4インチ（※実機の仕様・形状をご確認ください）
* **電気コネクタ**: D-sub 15ピン（※実機の仕様・形状をご確認ください）

※上記仕様は、同シリーズにおける一般的な設計基準値に基づく参考情報です。中古機器の特性上、配管継手や電気コネクタのピン配列、実測定精度などは実機現物の状態が優先されます。