中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-761のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体プロセスや各種産業分野における気体の精密な流量制御に長年広く使用されてきた、実績のある熱式マスフローコントローラーです。内部に熱式質量流量センサーと電磁式コントロールバルブを搭載しており、一次側の圧力変動や温度変化に左右されず、常に安定した質量流量の測定および制御を行います。

本個体は、不活性ガスとして広く用いられる窒素（N2）用に調整されており、最大流量10 SLM（Standard Liters per Minute）までの制御に対応しています。制御方式はアナログ方式を採用しており、0～5 VDCの電圧信号によって外部制御機器からの流量設定および測定値のモニター（出力）が可能です。駆動電源には±15 VDCを必要とします。研究開発用途から生産設備への組み込みまで、シンプルかつ信頼性の高いガス流量管理を可能にするコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス:** 窒素（N2）
* **最大流量:** 10 SLM
* **制御/出力信号:** 0～5 VDC（アナログ）
* **駆動電源:** ±15 VDC
* **外形寸法:** W150 × D40 × H180 mm（継手・コネクタ等の突起部含む）
* **センサー方式:** 熱式質量流量センサー
* **バルブ形式:** 常閉（N.O.）または常開（N.C.）※実機構成による
* **測定精度:** ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **動作温度範囲:** 5～50℃
* **耐圧（最大動作圧力）:** 約1.0 MPa（150 psig）
* **シール材質:** エラストマー（Viton等）
※上記仕様は同シリーズの代表的なカタログ値および本個体の構成に基づく参考値です。電気ピンアサインや配管継手（VCR、ワンタッチ、Swagelok等）の詳細については、実機の現物確認を推奨いたします。