中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-260J
年式表記：
仕様:100SCCN/C2F6
仕様:100SCCN/C2F6
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置などで広く使用されている、アナログ制御方式のメタルシール型マスフローコントローラーです。制御バルブには、非通電時や異常発生時に自動的に流路を遮断するノーマリークローズ（N/C・常時閉）方式を採用しており、プロセスの安全性を高めています。対象ガスはC2F6（ヘキサフルオロエタン）で調整されており、最大流量100 SCCMのクリーンな微小流量制御に最適化されています。接ガス部のシールには高信頼性のメタルシール構造を採用しているため、外部へのガスリークや不純物の放出を極限まで抑え、高真空環境における高いプロセス再現性を維持します。アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートしており、既存の制御システムへの組み込みや交換用途に適した長寿命・高安定設計のデバイスです。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: C2F6（ヘキサフルオロエタン）
* **フルスケール流量**: 100 SCCM
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（N/C、常時閉）
* **シール構造**: メタルシール
* **制御信号（入力/出力）**: 0～5 VDC（アナログ）
* **電源仕様**: ±15 VDC（標準）
* **電気接続**: D-sub 9ピンコネクタ
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（フルスケールステップ応答）
* **動作差圧範囲**: 0.05～0.3 MPa（標準）
* **外部リーク量**: 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec He以下
本機は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置などで広く使用されている、アナログ制御方式のメタルシール型マスフローコントローラーです。制御バルブには、非通電時や異常発生時に自動的に流路を遮断するノーマリークローズ（N/C・常時閉）方式を採用しており、プロセスの安全性を高めています。対象ガスはC2F6（ヘキサフルオロエタン）で調整されており、最大流量100 SCCMのクリーンな微小流量制御に最適化されています。接ガス部のシールには高信頼性のメタルシール構造を採用しているため、外部へのガスリークや不純物の放出を極限まで抑え、高真空環境における高いプロセス再現性を維持します。アナログ信号による流量設定および流量出力をサポートしており、既存の制御システムへの組み込みや交換用途に適した長寿命・高安定設計のデバイスです。
【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: C2F6（ヘキサフルオロエタン）
* **フルスケール流量**: 100 SCCM
* **バルブ動作**: ノーマリークローズ（N/C、常時閉）
* **シール構造**: メタルシール
* **制御信号（入力/出力）**: 0～5 VDC（アナログ）
* **電源仕様**: ±15 VDC（標準）
* **電気接続**: D-sub 9ピンコネクタ
* **流量制御精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（フルスケールステップ応答）
* **動作差圧範囲**: 0.05～0.3 MPa（標準）
* **外部リーク量**: 1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec He以下