中古機 マスフローコントローラー（MFC） Brooks製、型式5877のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、各種ガスプロセスにおいて精密な流量制御を担うマスフローコントローラー（MFC）用のマルチチャンネル電源・制御ユニット（パワーサプライおよびリードアウト）です。最大4系統のMFCを同時に接続・駆動させることが可能で、本仕様においてはCF4（四フッ化炭素）ガスに対応し、最大流量100SCCMまでの微小流量を正確に測定・制御するシステムとして構成されています。

フロントパネルには視認性に優れたデジタルインジケーターを搭載し、各チャンネルの現在流量や設定値をリアルタイムに把握できます。ローカル環境での手動バルブ制御（オープン／クローズ／オート）や流量設定に加え、標準的なアナログ信号（0〜5VDC）を介した外部システムからのリモート制御にも対応しています。幅210mm、奥行40mm、高さ130mmというコンパクトな筐体設計により、研究開発設備から生産ラインの制御盤内まで、限られたスペースへ効率的に組み込むことが可能です。

【AIによる参考仕様】
* **機器分類**: マスフローコントローラー用 電源・指示制御ユニット
* **最大制御可能チャンネル数**: 4チャンネル
* **対応ガス種**: CF4 (四フッ化炭素)
* **最大制御流量**: 100 SCCM
* **外形寸法**: W210 mm × D40 mm × H130 mm
* **入出力信号**: アナログ 0〜5 VDC
* **表示方式**: 各チャンネル独立デジタル表示
* **制御モード**: オート（自動制御）／ オープン（強制全開）／ クローズ（強制全閉）
* **電源仕様**: AC 115V / 230V（切替式）