中古機 マスフローコントローラー（MFC） Brooks製、型式5877のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、酸素（O2）ガスの精密な流量測定および流量制御を行うためのマスフローコントローラーです。最大流量100 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）に対応しており、微小流量域における正確かつ安定したガス供給が求められる研究開発設備、大学等の実験装置、または各種産業用プロセスに最適です。

外形寸法は幅170mm、奥行34mm、高さ120mmとコンパクトな設計となっており、限られたスペースのガス配管ラインや装置内部への組み込み、レイアウト変更が容易に行えます。ガスの温度や一次側圧力の変動に対しても影響を受けにくい熱式センサー技術を採用しており、再現性の高いプロセス制御を実現します。製造現場から各種分析用途まで、信頼性の高いガスフローコントロールをサポートします。

【AIによる参考仕様】
・装置種別：マスフローコントローラー（流量制御装置）
・対応ガス種：酸素（O2）
・最大制御流量：100 SCCM
・外形寸法：W170 mm × D34 mm × H120 mm
・制御方式：熱式質量流量測定および電磁バルブによる自動制御
・主な用途：実験用ガス供給ライン、各種分析装置、半導体・精密電子部品製造プロセス、研究用プロセス制御