中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-4401M
年式表記：
仕様:ガス:CH3OH 流量:100CCM
仕様:ガス:CH3OH 流量:100CCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、優れた気密性と信頼性を誇るメタルシール構造を採用した、高精度な熱式マスフローコントローラーです。接ガス部には耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を使用しており、高クリーンかつ高い安全性が要求される半導体製造プロセスや精密化学実験に最適です。
本個体は、常温では液体であるメタノール（CH3OH）をガス（蒸気）状態で精密に制御するための仕様に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は100 CCM（mL/min）となっています。外部リークレートは1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下と極めて低く、可燃性や有害性を持つ有機溶剤蒸気などの取り扱いにおいても高い気密性を保持します。応答性に優れたセンサーと微小流量域でも高い再現性を発揮するバルブ制御技術により、安定したプロセス管理を可能にします。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CH3OH（メタノール）
・最大制御流量（フルスケール）：100 CCM（mL/min）
・シール構造：メタルシール
・接ガス部主材質：SUS316L 等
・流量制御範囲：2%～100% F.S.
・流量精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：約1～2秒
・外部リークレート：1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
・動作温度範囲：15℃～50℃（周囲温度）
・バルブ動作：ノーマルクローズ（N.C. / 非通電時閉）
・接続継手：1/4インチ VCR（または相当品）
※上記仕様はメーカーの同系統シリーズにおける代表的な参考値です。中古品としての現状動作や対応インターフェース、校正状態のプラント整合性については、事前のご確認をお願いいたします。
本装置は、優れた気密性と信頼性を誇るメタルシール構造を採用した、高精度な熱式マスフローコントローラーです。接ガス部には耐食性に優れたステンレス鋼（SUS316L等）を使用しており、高クリーンかつ高い安全性が要求される半導体製造プロセスや精密化学実験に最適です。
本個体は、常温では液体であるメタノール（CH3OH）をガス（蒸気）状態で精密に制御するための仕様に調整されており、最大制御流量（フルスケール）は100 CCM（mL/min）となっています。外部リークレートは1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下と極めて低く、可燃性や有害性を持つ有機溶剤蒸気などの取り扱いにおいても高い気密性を保持します。応答性に優れたセンサーと微小流量域でも高い再現性を発揮するバルブ制御技術により、安定したプロセス管理を可能にします。
【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CH3OH（メタノール）
・最大制御流量（フルスケール）：100 CCM（mL/min）
・シール構造：メタルシール
・接ガス部主材質：SUS316L 等
・流量制御範囲：2%～100% F.S.
・流量精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：約1～2秒
・外部リークレート：1×10⁻¹¹ Pa・m³/sec（He）以下
・動作温度範囲：15℃～50℃（周囲温度）
・バルブ動作：ノーマルクローズ（N.C. / 非通電時閉）
・接続継手：1/4インチ VCR（または相当品）
※上記仕様はメーカーの同系統シリーズにおける代表的な参考値です。中古品としての現状動作や対応インターフェース、校正状態のプラント整合性については、事前のご確認をお願いいたします。