中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400Rのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセス、各種真空装置、分析機器などのガス供給ラインにおいて、ガスの質量流量を精密に測定および制御するためのデジタルマスフローコントローラーです。内部のシール機構にエラストマー（フッ素ゴム等のラバーシール）を採用したモデルであり、主に非腐食性の一般ガスやパージガスの流量制御に適しています。

流量制御範囲はフルスケールの2%から100%と広く、微小な流量から最大流量まで安定したガス供給を実現します。内部に搭載されたデジタル制御回路により、設定値に対する精度（S.P.精度）は±1.0%という高い水準を保持し、応答時間も1秒以内と高速なフィードバック制御が可能です。これにより、プロセス中のガス流量の変動やオーバーシュートを最小限に抑えることができます。

外部インターフェースは、従来のアナログ信号（0～5VDC）による制御に加え、デジタル通信（RS-485など）にも対応しています。既存のアナログ制御システムにそのまま組み込めるだけでなく、デジタルネットワークを活用した集中管理やパラメータのモニタリングへの拡張も容易です。稼働には±15VDCの電源を必要とし、ガス流量の正確なトラッキングと再現性が求められる産業用途や研究開発において広く採用されている構造となっています。

【AIによる参考仕様】
シール材質：エラストマー（FKM等）
バルブ形式：ノーマリークローズ（NC）またはノーマリーオープン（NO）
フルスケール流量範囲（N2換算）：10 SCCM ～ 50 SLM（※個体の設定による）
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% S.P.（25～100% F.S.時）、±0.25% F.S.（2～25% F.S.時）
応答時間：1秒以内
使用温度範囲：5 ～ 50℃
動作差圧：50 ～ 300 kPa（※フルスケール流量により変動）
耐圧：1.0 MPa(G)
入出力信号：アナログ（0～5VDC）、デジタル通信（RS-485等）
所要電源：±15VDC
外部リークレート：1×10^-8 Pa･m3/s (He) 以下
接ガス部主要材質：SUS316L、磁性ステンレス、エラストマー