中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-260
年式表記：
仕様:ガス5%SiH4／N2 流量3SLM W130 D25 H110
仕様:ガス5%SiH4／N2 流量3SLM W130 D25 H110
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量（質量流量率）を熱式センサによって測定し、内部のコントロールバルブを自動調整することで、設定された流量を正確に維持・制御する機器です。対象ガスは半導体プロセス等で使用される「5% SiH4／N2（シラン・窒素混合ガス）」に調整されており、最大3 SLM（Standard Liters per Minute）までの流量制御に対応しています。アナログ式の電気信号（一般的に0〜5 VDC）による入出力に対応しており、システム構築や既存設備への組み込みに適しています。筐体サイズは幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな設計で、スペースの限られた配管パネル内にも効率的に配置可能です。シール部にはエラストマー素材が採用されており、該当ガス種において安定した動作信頼性を発揮します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: 5% SiH4 / N2 (シラン 5% / 窒素バランス混合ガス)
* **最大制御流量**: 3 SLM (Standard Liters per Minute)
* **外形寸法**: 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm
* **シール材質**: エラストマー (Viton仕様)
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC
* **応答時間**: 約 2 〜 4 秒
* **測定・制御精度**: ±1.0% F.S. (フルスケール)
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **接続継手仕様**: 1/4インチ（機種標準規格に準ずる）
本装置は、気体の質量流量（質量流量率）を熱式センサによって測定し、内部のコントロールバルブを自動調整することで、設定された流量を正確に維持・制御する機器です。対象ガスは半導体プロセス等で使用される「5% SiH4／N2（シラン・窒素混合ガス）」に調整されており、最大3 SLM（Standard Liters per Minute）までの流量制御に対応しています。アナログ式の電気信号（一般的に0〜5 VDC）による入出力に対応しており、システム構築や既存設備への組み込みに適しています。筐体サイズは幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクトな設計で、スペースの限られた配管パネル内にも効率的に配置可能です。シール部にはエラストマー素材が採用されており、該当ガス種において安定した動作信頼性を発揮します。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: 5% SiH4 / N2 (シラン 5% / 窒素バランス混合ガス)
* **最大制御流量**: 3 SLM (Standard Liters per Minute)
* **外形寸法**: 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm
* **シール材質**: エラストマー (Viton仕様)
* **入出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **動作電源**: ±15 VDC
* **応答時間**: 約 2 〜 4 秒
* **測定・制御精度**: ±1.0% F.S. (フルスケール)
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **接続継手仕様**: 1/4インチ（機種標準規格に準ずる）