中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-781C
年式表記：
仕様:ガスN2 流量20SLM W160 D37 H130
仕様:ガスN2 流量20SLM W160 D37 H130
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種産業プロセスにおいて高い信頼性を誇る、アナログ制御方式のマスフローコントローラーです。接合部のシール材にエラストマーを採用した実用性に優れた設計となっており、気密性とメンテナンス性を両立しています。
内部には熱式流量センサーと高精度なソレノイド駆動アクチュエータを搭載し、設定値に対して2秒以下という迅速な応答速度でガス流量を精密にコントロールします。制御精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を維持し、安定したプロセス環境を提供します。本個体はN2（窒素）ガス専用に校正されており、最大流量20SLM（Standard Liter per Minute）に対応しているため、中〜高流量域での確実な流量制御が可能です。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大制御流量：20 SLM
・シール材質：エラストマー（Oリング）
・バルブ動作形式：ノーマリークローズ（N.C.：常時閉）
・流量制御精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2.0秒以下（F.S.の±2%以内への到達時間）
・動作差圧範囲：約98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧力：1.0 MPa
・外部リーク量：1×10^-6 Pa・m³/s He 以下
・動作電源：DC ±15V (±5%)
・外形寸法：W160 × D37 × H130 mm（実測値）
本装置は、半導体製造や各種産業プロセスにおいて高い信頼性を誇る、アナログ制御方式のマスフローコントローラーです。接合部のシール材にエラストマーを採用した実用性に優れた設計となっており、気密性とメンテナンス性を両立しています。
内部には熱式流量センサーと高精度なソレノイド駆動アクチュエータを搭載し、設定値に対して2秒以下という迅速な応答速度でガス流量を精密にコントロールします。制御精度は±1.0% F.S.、再現性は±0.2% F.S.を維持し、安定したプロセス環境を提供します。本個体はN2（窒素）ガス専用に校正されており、最大流量20SLM（Standard Liter per Minute）に対応しているため、中〜高流量域での確実な流量制御が可能です。
【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大制御流量：20 SLM
・シール材質：エラストマー（Oリング）
・バルブ動作形式：ノーマリークローズ（N.C.：常時閉）
・流量制御精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・応答速度：2.0秒以下（F.S.の±2%以内への到達時間）
・動作差圧範囲：約98 kPa 〜 294 kPa
・耐圧力：1.0 MPa
・外部リーク量：1×10^-6 Pa・m³/s He 以下
・動作電源：DC ±15V (±5%)
・外形寸法：W160 × D37 × H130 mm（実測値）