中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FM-860のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体プロセスや各種薄膜堆積技術において、ガスの質量流量を正確に計測・監視するための熱式質量流量測定装置（マスフローメーター）です。特殊高圧ガスであるシラン（SiH4）に最適化されており、最大流量300 SCCMまでの高精度な測定に対応します。
センサー部には信頼性の高い熱式センサーを採用しており、周囲の温度や圧力の変化に影響されず、安定した質量流量を検出してアナログ信号（一般仕様：0〜5 VDC）として出力します。外形寸法は幅150mm、奥行40mm、高さ180mmとコンパクトな設計であり、ガスパネルや製造装置内部の限られたスペースにも効率的に配置可能です。外部の制御バルブやシステムと組み合わせることで、精密なガス流量管理システムを構築できます。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種**: シラン (SiH4)
* **最大流量レンジ**: 300 SCCM
* **外形寸法**: 約 W150 × D40 × H180 mm
* **流量測定方式**: 熱式質量流量測定
* **定格電源**: ±15 VDC（標準値）
* **入出力信号**: アナログ信号（0 - 5 VDC）
* **継手・接続形式**: アナログ電気コネクタ（端子配列、ガス継手形状は実機優先）

※本仕様は、同シリーズの基本技術データに基づく参考値です。中古品としてのキャリブレーション状況や端子仕様などの詳細については、現物でのご確認をお願いいたします。