中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-410
年式表記：
仕様:ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
仕様:ガス:1%B2H6/Ar 流量:1LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本マスフローコントローラーは、半導体製造装置や研究開発プロセスなど、精密な気体流量制御が求められる環境で実績を持つアナログタイプの流量制御装置です。本個体は、高度な安全管理が必要な特殊材料ガスである「1% B2H6/Ar（アルゴン希釈1%ジボラン）」仕様として調整されており、フルスケール1 LM（1 L/min）の流量域において安定したガス供給を実現します。
熱式流量センサと電磁式比例バルブを組み合わせたフィードバック制御機構により、設定値に対する高い追従性と優れた再現性を誇ります。シール部には気密性とメンテナンス性に優れたエラストマー（ゴム）素材を採用。正確なプロセス管理と安定稼働をサポートする信頼性の高い一台です。
【AIによる参考仕様】
※以下の仕様はメーカー公式の同シリーズの代表的な基本仕様に基づいています。中古品につき、実機の校正状態や現状の仕様を優先してください。
* **対応ガス種:** 1% B2H6 / Ar（アルゴン希釈 1% ジボラン）
* **最大流量（フルスケール）:** 1 LM（1 L/min / 1 SLM相当）
* **流量制御範囲:** フルスケール（F.S.）の 2% 〜 100%
* **流量測定精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S. 以内
* **応答速度:** 約2秒〜3秒以下
* **バルブ動作:** ノーマリークローズ（N.C. / 電源OFF時閉）
* **動作差圧範囲:** 50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧:** 最大 1.0 MPa (G)
* **外部リークレート:** 1.0 × 10^-8 Pa・m³/sec 以下（He）
* **電気コネクタ:** D-sub 9ピン（アナログ仕様）
* **動作電源:** DC ±15V (±5%)
* **入出力信号:** アナログ 0 〜 5 VDC
* **接ガス部主要材質:** ステンレス鋼（SUS316L等）、エラストマー（フッ素ゴム等）
本マスフローコントローラーは、半導体製造装置や研究開発プロセスなど、精密な気体流量制御が求められる環境で実績を持つアナログタイプの流量制御装置です。本個体は、高度な安全管理が必要な特殊材料ガスである「1% B2H6/Ar（アルゴン希釈1%ジボラン）」仕様として調整されており、フルスケール1 LM（1 L/min）の流量域において安定したガス供給を実現します。
熱式流量センサと電磁式比例バルブを組み合わせたフィードバック制御機構により、設定値に対する高い追従性と優れた再現性を誇ります。シール部には気密性とメンテナンス性に優れたエラストマー（ゴム）素材を採用。正確なプロセス管理と安定稼働をサポートする信頼性の高い一台です。
【AIによる参考仕様】
※以下の仕様はメーカー公式の同シリーズの代表的な基本仕様に基づいています。中古品につき、実機の校正状態や現状の仕様を優先してください。
* **対応ガス種:** 1% B2H6 / Ar（アルゴン希釈 1% ジボラン）
* **最大流量（フルスケール）:** 1 LM（1 L/min / 1 SLM相当）
* **流量制御範囲:** フルスケール（F.S.）の 2% 〜 100%
* **流量測定精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S. 以内
* **応答速度:** 約2秒〜3秒以下
* **バルブ動作:** ノーマリークローズ（N.C. / 電源OFF時閉）
* **動作差圧範囲:** 50 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧:** 最大 1.0 MPa (G)
* **外部リークレート:** 1.0 × 10^-8 Pa・m³/sec 以下（He）
* **電気コネクタ:** D-sub 9ピン（アナログ仕様）
* **動作電源:** DC ±15V (±5%)
* **入出力信号:** アナログ 0 〜 5 VDC
* **接ガス部主要材質:** ステンレス鋼（SUS316L等）、エラストマー（フッ素ゴム等）