中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Tylan
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガス:He 流量:100SCCM
仕様:ガス:He 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラです。対象ガスはヘリウム（He）に調整されており、最大流量100 SCCMに対応した設計となっています。内部に搭載された熱式センサーと高速応答の電磁式比例弁により、一次側の供給圧力や周囲温度の変動に左右されることなく、設定された流量に対して安定かつ迅速なガス供給を維持します。長年にわたり半導体製造プロセス、各種真空装置、理化学分析機器などのガス導入ラインで広く採用されてきた実績を持ち、アナログ制御システムへの統合に適しています。研究開発から生産設備まで、高精度な雰囲気制御やプロセス管理に寄与する信頼性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
※仕様値はメーカー提供の同シリーズ代表データに基づく参考値です。中古品のため、実際の状態や校正・調整によって異なる場合があります。
* **制御対象ガス**: ヘリウム (He)
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（最終流量の98%到達時間）
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa ～ 0.30 MPa（約0.5 ～ 3.0 kgf/cm²）
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃
* **入力/出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)、+15VDC: 約100mA / -15VDC: 約100mA
* **シール材質**: フッ素ゴム（金属シール仕様等、個体により異なる場合があります）
* **継手規格**: 1/4インチ（現物の接続形状をご確認ください）
本装置は、気体の質量流量を精密に測定・制御する熱式マスフローコントローラです。対象ガスはヘリウム（He）に調整されており、最大流量100 SCCMに対応した設計となっています。内部に搭載された熱式センサーと高速応答の電磁式比例弁により、一次側の供給圧力や周囲温度の変動に左右されることなく、設定された流量に対して安定かつ迅速なガス供給を維持します。長年にわたり半導体製造プロセス、各種真空装置、理化学分析機器などのガス導入ラインで広く採用されてきた実績を持ち、アナログ制御システムへの統合に適しています。研究開発から生産設備まで、高精度な雰囲気制御やプロセス管理に寄与する信頼性の高いモデルです。
【AIによる参考仕様】
※仕様値はメーカー提供の同シリーズ代表データに基づく参考値です。中古品のため、実際の状態や校正・調整によって異なる場合があります。
* **制御対象ガス**: ヘリウム (He)
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **流量制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.
* **流量精度**: ±1.0% F.S.
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（最終流量の98%到達時間）
* **動作差圧範囲**: 0.05 MPa ～ 0.30 MPa（約0.5 ～ 3.0 kgf/cm²）
* **耐圧**: 1.0 MPa
* **動作温度範囲**: 5℃ ～ 50℃
* **入力/出力信号**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)、+15VDC: 約100mA / -15VDC: 約100mA
* **シール材質**: フッ素ゴム（金属シール仕様等、個体により異なる場合があります）
* **継手規格**: 1/4インチ（現物の接続形状をご確認ください）