中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-780C
年式表記：
仕様:流量：5SCCM ガス：O2
仕様:流量：5SCCM ガス：O2
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。エラストマー（フッ素ゴム）シールを採用したアナログ制御方式のモデルであり、高い信頼性と安定した動作実績を備えています。
本個体のフルスケール流量は5 SCCMと非常に微小な流量域に対応しており、対象ガスは酸素（O2）仕様となっています。流量制御の応答速度は2秒以下と素早く、プロセスガス供給の迅速な安定化に寄与します。また、外部リーク量が極めて低く抑えられており、クリーンかつ安全なガスラインの構築に適しています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存の制御システムや外部機器との連携が容易です。微小流量の精密なガス制御を必要とする、スパッタリングやCVDなどの真空成膜装置、実験用評価装置などの用途に適しています。
【AIによる参考仕様】
対応ガス：O2（酸素）
フルスケール流量：5 SCCM
シール材質：エラストマー（フッ素ゴム）
流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：2.0秒以下（F.S.の98%到達時間）
動作温度範囲：5〜50℃
最大動作圧力：約300 kPa
動作差圧範囲：98〜294 kPa
制御信号（入力）：0〜5 VDC
流量出力信号：0〜5 VDC
外部リーク量：1 × 10^-11 Pa・m³/sec（He）以下
電源仕様：+15 VDC、-15 VDC
本装置は、半導体製造プロセスや各種研究開発において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するために設計された熱式マスフローコントローラーです。エラストマー（フッ素ゴム）シールを採用したアナログ制御方式のモデルであり、高い信頼性と安定した動作実績を備えています。
本個体のフルスケール流量は5 SCCMと非常に微小な流量域に対応しており、対象ガスは酸素（O2）仕様となっています。流量制御の応答速度は2秒以下と素早く、プロセスガス供給の迅速な安定化に寄与します。また、外部リーク量が極めて低く抑えられており、クリーンかつ安全なガスラインの構築に適しています。
アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力インターフェースに対応しており、既存の制御システムや外部機器との連携が容易です。微小流量の精密なガス制御を必要とする、スパッタリングやCVDなどの真空成膜装置、実験用評価装置などの用途に適しています。
【AIによる参考仕様】
対応ガス：O2（酸素）
フルスケール流量：5 SCCM
シール材質：エラストマー（フッ素ゴム）
流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
再現性：±0.2% F.S.
応答時間：2.0秒以下（F.S.の98%到達時間）
動作温度範囲：5〜50℃
最大動作圧力：約300 kPa
動作差圧範囲：98〜294 kPa
制御信号（入力）：0〜5 VDC
流量出力信号：0〜5 VDC
外部リーク量：1 × 10^-11 Pa・m³/sec（He）以下
電源仕様：+15 VDC、-15 VDC