中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-790C
年式表記：
仕様:ガス:BCL3 流量:200SCCM
仕様:ガス:BCL3 流量:200SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセス、化学分析、各種研究開発のガス供給システムにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。
ガス接触部のシール材にメタルシールを採用していることが大きな特徴であり、優れた気密性と高い耐食性を有しています。これにより、本装置に設定されている三塩化ホウ素（BCl3）のような腐食性や反応性の極めて高いガスを使用する環境においても、ガスの外部漏洩や外気の侵入、シール材からのアウトガス（放出ガス）を最小限に抑え、プロセスの高クリーンネスを維持します。
流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広く対応し、応答時間は2秒以下と、迅速かつ安定した流量追従性を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力制御に対応しており、既存の各種製造装置やガスパネルへの組み込み・置き換えがスムーズに行える設計となっています。
【AIによる参考仕様】
※以下は標準的なシリーズ仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の接続ポート形状やピンアサイン等の詳細仕様は現物をご確認ください。
* **設定ガス**: 三塩化ホウ素（BCl3）
* **最大制御流量**: 200 SCCM
* **シール材質**: メタルシール
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（セットポイントの±2%以内）
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁹ atm・cc/sec（He）以下
* **動作温度範囲**: 5 ～ 50℃
* **制御信号（アナログ）**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC（標準）
* **継手仕様**: 1/4インチ VCR仕様（または同等品）
本装置は、半導体や電子デバイスの製造プロセス、化学分析、各種研究開発のガス供給システムにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御する熱式マスフローコントローラーです。
ガス接触部のシール材にメタルシールを採用していることが大きな特徴であり、優れた気密性と高い耐食性を有しています。これにより、本装置に設定されている三塩化ホウ素（BCl3）のような腐食性や反応性の極めて高いガスを使用する環境においても、ガスの外部漏洩や外気の侵入、シール材からのアウトガス（放出ガス）を最小限に抑え、プロセスの高クリーンネスを維持します。
流量制御範囲はフルスケールの2%から100%まで幅広く対応し、応答時間は2秒以下と、迅速かつ安定した流量追従性を実現します。アナログ信号（0〜5 VDC）による入出力制御に対応しており、既存の各種製造装置やガスパネルへの組み込み・置き換えがスムーズに行える設計となっています。
【AIによる参考仕様】
※以下は標準的なシリーズ仕様に基づく参考値です。中古品のため、実際の接続ポート形状やピンアサイン等の詳細仕様は現物をご確認ください。
* **設定ガス**: 三塩化ホウ素（BCl3）
* **最大制御流量**: 200 SCCM
* **シール材質**: メタルシール
* **制御範囲**: 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **精度**: ±1.0% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下（セットポイントの±2%以内）
* **外部リークレート**: 1 × 10⁻⁹ atm・cc/sec（He）以下
* **動作温度範囲**: 5 ～ 50℃
* **制御信号（アナログ）**: 0 ～ 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC（標準）
* **継手仕様**: 1/4インチ VCR仕様（または同等品）