中古機 マスフローコントローラー（MFC） SAM製、型式SFC470のご紹介

【AIによる装置概要】
気体の質量流量を高精度に計測・制御するためのマスフローコントローラーです。半導体製造プロセス、真空蒸着装置、各種ガス混合システムなど、厳密な流量管理が不可欠な環境での使用に適しています。高感度な熱式流量センサーと高速応答の比例制御バルブを統合することで、一次側の供給圧力変動や周囲の温度変化の影響を最小限に抑え、設定値に対して極めて安定したガス供給を実現します。

本モデルは、微小流量から中流量までのプロセスガス制御に幅広く対応可能な設計となっており、既存のガスパネルや配管レイアウトへの組み込みが容易です。上位の制御システムとはアナログ電圧・電流信号、またはデジタル通信を介して連携でき、リアルタイムでの流量モニタリングと精密なフィードバック調整が可能です。また、接ガス部には耐腐食性に優れたステンレス材が採用されており、不活性ガスをはじめとする様々な流体に対応します。設備更新時の代替コンポーネントや、研究開発用途でのライン増設など、信頼性の高い流量制御プロセスを構築する上で最適な機器です。

【AIによる参考仕様】
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.（フルスケールに対して）
応答時間：1.0秒以内（設定値の±2%到達時）
動作温度範囲：5 ～ 50 ℃
動作湿度範囲：10 ～ 90% RH（結露なきこと）
使用差圧範囲：0.05 ～ 0.3 MPa（流量レンジにより変動）
最大耐圧：1.0 MPa (G)
バルブ動作形式：ノーマルクローズ（非通電時閉）
接ガス部材質：SUS316L、磁性ステンレス、フッ素ゴム（FKM）
入出力信号：アナログ 0 ～ 5 VDC または 4 ～ 20 mA
通信インターフェース：RS-485準拠
電源電圧：±15 VDC または +24 VDC
消費電力：最大 3.0 W
接続継手：1/4インチ VCR相当 または 1/4インチ Swagelok相当
許容リークレート：1.0 × 10^-8 Pa·m³/s (He) 以下