中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEF-21A
年式表記：
仕様:ガスN2 O2 Air 流量500SCCM W100 D30 H65
仕様:ガスN2 O2 Air 流量500SCCM W100 D30 H65
本体価格(税別、送料別)
10,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。内部に高感度な熱式流量センサと精密なコントロールバルブを搭載しており、外部からの供給圧力変動や周囲温度の変化に対しても影響を受けにくく、安定したガス流量制御を実現します。今回の対象機種は、N2（窒素）、O2（酸素）、Air（空気）の各ガス種に対応し、最大流量500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute：0℃、1気圧換算でのミリリットル/分）の仕様となっています。半導体製造プロセス、理化学分析装置、各種実験設備など、微少かつ正確なガス流量管理が求められる多様な産業分野で標準的に導入されています。経年変化が少なく、再現性に優れた流量制御が可能です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** N2（窒素）、O2（酸素）、Air（空気）
* **最大制御流量：** 500 SCCM
* **流量制御範囲：** F.S.（フルスケール）の2%～100%
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール値に対して）
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **応答速度：** 約2秒以下（典型値）
* **動作温度範囲：** 5℃～50℃
* **耐圧性：** 最大使用圧力 300 kPa（G）
* **電気接続/信号：** D-sub 9ピンコネクタ、アナログ入力（0-5 VDC または 4-20 mA）、アナログ出力（0-5 VDC または 4-20 mA）
* **電源電圧：** DC±15V（±5%）
* **外形寸法：** 約 W100 mm × D30 mm × H65 mm（継手・コネクタ等の突起部を除く本体サイズ）
* **ガス接続口径：** 1/4インチ（各種継手対応）
本装置は、気体の質量流量を高精度に計測・制御する熱式マスフローコントローラーです。内部に高感度な熱式流量センサと精密なコントロールバルブを搭載しており、外部からの供給圧力変動や周囲温度の変化に対しても影響を受けにくく、安定したガス流量制御を実現します。今回の対象機種は、N2（窒素）、O2（酸素）、Air（空気）の各ガス種に対応し、最大流量500 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute：0℃、1気圧換算でのミリリットル/分）の仕様となっています。半導体製造プロセス、理化学分析装置、各種実験設備など、微少かつ正確なガス流量管理が求められる多様な産業分野で標準的に導入されています。経年変化が少なく、再現性に優れた流量制御が可能です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** N2（窒素）、O2（酸素）、Air（空気）
* **最大制御流量：** 500 SCCM
* **流量制御範囲：** F.S.（フルスケール）の2%～100%
* **流量精度：** ±1.0% F.S.（フルスケール値に対して）
* **再現性：** ±0.2% F.S.以内
* **応答速度：** 約2秒以下（典型値）
* **動作温度範囲：** 5℃～50℃
* **耐圧性：** 最大使用圧力 300 kPa（G）
* **電気接続/信号：** D-sub 9ピンコネクタ、アナログ入力（0-5 VDC または 4-20 mA）、アナログ出力（0-5 VDC または 4-20 mA）
* **電源電圧：** DC±15V（±5%）
* **外形寸法：** 約 W100 mm × D30 mm × H65 mm（継手・コネクタ等の突起部を除く本体サイズ）
* **ガス接続口径：** 1/4インチ（各種継手対応）