中古機 マスフローコントローラー（MFC） Unit製、型式UFC-1100のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや一般産業分野、研究開発設備などにおいて長年にわたり信頼されている熱式マスフローコントローラー（MFC）です。アナログ制御方式を採用しており、0〜5 VDCの入出力信号によって、ガス流量を迅速かつ正確に制御します。

本個体は、対象ガスが「N2（窒素ガス）」、最大流量（フルスケール流量）が「3 SLM（Standard Liters per Minute）」として仕様決定されています。センサー部には信頼性の高い熱式センサーが搭載されており、高精度な流量測定と優れた再現性を誇ります。バルブは一般的に広く採用されているノーマリークローズ（常時閉）タイプが組み込まれており、非通電時のガス遮断安全性を確保しています。

その堅牢な設計とシンプルなアナログインターフェースから、既存設備の代替用パーツをはじめ、シンプルなガス供給ラインの構築やテストプロセスなどに適した実用的な一台です。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**: N2 (窒素)
* **最大流量レンジ**: 3 SLM (3,000 sccm)
* **制御方式**: アナログ
* **流量設定/出力信号**: 0 〜 5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC (±5%)
* **流量精度**: ±1.0% F.S. (フルスケール)
* **リニアリティ**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以内 (設定値の±2%以内に到達)
* **バルブ動作タイプ**: ノーマリークローズ (常時閉)
* **シール材質**: エラストマー (フッ素ゴム等)
* **最大使用圧力**: 150 psig (約1.03 MPa)
* **動作温度範囲**: 5 〜 50 ℃
* **外部接続コネクタ**: 20ピン・カードエッジ、またはD-subコネクタ (※現物の接続ポート形状をご確認ください)
* **配管接続継手**: 1/4インチ継手 (VCR、Swagelok等、※現物の継手形状をご確認ください)

※上記仕様は同シリーズの標準的なカタログ値に基づく参考情報です。中古機器の特性上、実際の製品仕様やオプション対応、経年による特性変化等の詳細については現物でのご確認をお願いいたします。