中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種真空成膜装置において、ガスの質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式の熱式マスフローコントローラーです。シランガス（SiH4）用に設計・調整されており、最大制御流量は100 SCCMの仕様となっています。シランのような反応性・可燃性の高い特殊材料ガスを安全かつ正確に制御するため、高い気密性と信頼性を備えています。

内部構造には、高精度な熱式センサーと応答性に優れた電磁式コントロールバルブを搭載。設定値の変更に対して2秒以下で追従する高速応答性を持ち、プロセスの安定化に寄与します。また、制御バルブには常時閉（Normally Closed）方式を採用しているため、予期せぬ停電やトラブルによる制御信号の遮断時にも自動的にガス流路を閉止し、安全を確保します。研究開発用や既存設備のメンテナンス用（保守部品）として、幅広い用途に対応可能な実用性の高いコンポーネントです。

【AIによる参考仕様】
* **対象ガス**: シラン（SiH4）
* **最大流量レンジ**: 100 SCCM
* **精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **直線性**: ±0.5% F.S.
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2秒以下
* **コントロールバルブ動作**: 常時閉（Normally Closed）
* **入出力信号**: 0〜5 VDC
* **駆動電源**: ±15 VDC
* **動作温度範囲**: 5〜45℃
* **最大動作圧力**: 1.03 MPa (150 psig)
* **耐圧力**: 3.45 MPa (500 psig)
* **電気接続コネクタ**: D-sub 15ピン
* **主な接ガス部材質**: ステンレススチール等