中古 マスフローコントローラー(MFC) メーカー名日立金属 型式FCPI 980 仕様:マニホールド1式:C4F8*50 SF6*500 N2*200 BCl3*200 ClF3*500 CL2*200 O2*5000 N2*10 販売価格 100,000円 マスフローコントローラー(MFC)(294件)の在庫紹介ページ