中古 マスフローコントローラー(MFC)
メーカー名
日立金属
型式FCPI 980
年式表記:
仕様:マニホールド1式:C4F8*50 SF6*500 N2*200 BCl3*200 ClF3*500 CL2*200 O2*5000 N2*10
仕様:マニホールド1式:C4F8*50 SF6*500 N2*200 BCl3*200 ClF3*500 CL2*200 O2*5000 N2*10
販売価格
100,000円

