中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業分野において高精度なガス流量制御を実現するデジタルマスフローコントローラー（MFC）です。世界的に実績のあるブランドの技術をベースに開発され、デジタル回路の搭載により、従来の加熱式センサーの特性を最大限に引き出しつつ、優れた応答性と安定性を両立しています。

本個体は、希ガスであるヘリウム（He）ガス専用として調整されており、最大流量200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量領域を正確に制御可能です。デジタル通信（DeviceNet等の各種インターフェース仕様が存在）に対応した制御システムへの組み込みに適しており、経時変化や温度変化に強い高い信頼性を備えています。コンパクトな筐体設計により、限られたガスパネルスペースへも効率的な配置が可能です。

【AIによる参考仕様】
* **対応ガス：** He（ヘリウム）
* **最大制御流量：** 200 SCCM
* **制御方式：** デジタル
* **外形寸法：** 幅130 mm × 奥行40 mm × 高さ170 mm（※接続コネクタ・継手等の突起部を除く。実寸値）
* **取付姿勢：** 任意（標準水平・垂直推奨）
* **動作環境温度：** 5～50℃（一般的なD980シリーズの仕様に準ずる）
* **応答時間：** 2.0秒以内（典型値）
* **精度：** ±1.0% F.S.（フルスケールに対して）