中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-770ACのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用途において、気体の質量流量を高精度に測定・制御するアナログ式のマスフローコントローラー（MFC）です。センサー部、バイパス部、コントロールバルブ、および制御回路をコンパクトに一体化しており、外部からの制御信号に応じて、バルブの開度を高速かつ正確に調整します。本個体は、実用性の高いアルゴン（Ar）ガス仕様として調整されており、最大流量300 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）までの微小流量制御に適しています。ガス接触部のシール部材には信頼性の高い金属または高性能エラストマーが採用されており、プロセスのクリーン度維持と漏洩防止を両立しています。ガス配管との接続インターフェースには、半導体やガス供給設備で標準的に使用される1/4インチのスウェジロック継手が採用されているため、既存の配管ラインへ容易に組み込みが可能です。信頼性の高い熱式流量センサーにより、圧力や温度の変動に対しても極めて安定した流量制御を実現します。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：Ar（アルゴン）
* **最大制御流量**：300 SCCM
* **継手仕様**：1/4インチ Swagelok（スウェジロック）
* **外形寸法**：幅（W）115 mm × 奥行（D）35 mm × 高さ（H）130 mm
* **制御方式**：アナログ
* **応答速度**：約2秒以下（代表値）
* **精度**：±1.0% F.S.（フルスケール）以内
* **再現性**：±0.2% F.S.以内
* **動作差圧範囲**：約49〜294 kPa（仕様条件により異なる）
* **耐圧**：約1.0 MPa