中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC-421Z
年式表記：
仕様:ガス:N2 流量:５LM
仕様:ガス:N2 流量:５LM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、産業用ガスラインや研究開発設備において広く使用されている熱式質量流量制御装置（マスフローコントローラ）です。外部から供給されるガス圧力の変動に影響されることなく、内蔵の精密な熱式センサで質量流量を直接検出し、電磁式（ソレノイド）バルブによって高精度かつ安定した流量制御を行います。
本仕様は、一般的な不活性ガスである窒素（N2）専用に調整されており、最大5 L/min（5 LM）までの流量を精密に制御します。接ガス部のシール材にはエラストマーを採用しており、気密性を確保しつつコストパフォーマンスに優れた設計となっています。アナログ制御方式に対応しているため、既存の制御盤やガス供給システムへの組み込み、リプレイスが容易に行えます。プロセスガスの確実な流量管理が必要な環境に適した実用的な一台です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** 窒素（N2）
* **最大流量レンジ：** 5 L/min (5 LM)
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（非通電時閉）
* **アクチュエータ方式：** 電磁式（ソレノイドバルブ）
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度：** ±1.0% F.S. 以内
* **再現性：** ±0.2% F.S. 以内
* **応答時間：** 5秒以内（目安）
* **動作差圧範囲：** 100 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧：** 1.0 MPa（G）
* **外部リーク量：** 1 × 10⁻⁷ Pa・m³/sec He以下
* **制御/出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（または15ピン） ※現物仕様準拠
* **配線接続継手：** 1/4インチ（VCR等） ※現物仕様準拠
本装置は、産業用ガスラインや研究開発設備において広く使用されている熱式質量流量制御装置（マスフローコントローラ）です。外部から供給されるガス圧力の変動に影響されることなく、内蔵の精密な熱式センサで質量流量を直接検出し、電磁式（ソレノイド）バルブによって高精度かつ安定した流量制御を行います。
本仕様は、一般的な不活性ガスである窒素（N2）専用に調整されており、最大5 L/min（5 LM）までの流量を精密に制御します。接ガス部のシール材にはエラストマーを採用しており、気密性を確保しつつコストパフォーマンスに優れた設計となっています。アナログ制御方式に対応しているため、既存の制御盤やガス供給システムへの組み込み、リプレイスが容易に行えます。プロセスガスの確実な流量管理が必要な環境に適した実用的な一台です。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種：** 窒素（N2）
* **最大流量レンジ：** 5 L/min (5 LM)
* **バルブ動作：** ノーマリークローズ（非通電時閉）
* **アクチュエータ方式：** 電磁式（ソレノイドバルブ）
* **シール材質：** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **流量制御範囲：** 2% 〜 100% F.S.（フルスケール）
* **流量精度：** ±1.0% F.S. 以内
* **再現性：** ±0.2% F.S. 以内
* **応答時間：** 5秒以内（目安）
* **動作差圧範囲：** 100 kPa 〜 300 kPa
* **耐圧：** 1.0 MPa（G）
* **外部リーク量：** 1 × 10⁻⁷ Pa・m³/sec He以下
* **制御/出力信号：** 0 〜 5 VDC
* **駆動電源：** ±15 VDC ±5%
* **電気コネクタ：** D-sub 9ピン（または15ピン） ※現物仕様準拠
* **配線接続継手：** 1/4インチ（VCR等） ※現物仕様準拠