中古機 マスフローコントローラー（MFC） Tylan製、型式FM-860のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種薄膜堆積装置などで長年の実績を持つ、熱式流量センサーを搭載したガス制御機器です。対象ガスとして、半導体プロセスで多用される可燃性・自発火性ガスのシラン（SiH4）に対応しており、最大300 SCCMまでの微小流量を高精度に制御します。

堅牢なアナログ制御回路を内蔵しており、0〜5 VDCの外部制御信号および流量出力信号に対応し、±15 VDCの外部電源により安定して動作します。接ガス部には特殊ガスに対する耐食性と気密性を備えたステンレススチール等が採用されており、プロセスの安全性を担保します。経年劣化が少なく、長期間にわたり安定した動作が期待できるため、研究開発設備から生産ラインの予備機まで幅広く適応可能な信頼性の高いモデルです。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス**：シラン（SiH4）
* **最大制御流量**：300 SCCM
* **制御方式**：熱式質量流量制御
* **入出力信号**：0 〜 5 VDC
* **駆動電源**：±15 VDC
* **本体寸法**：幅 150 mm × 奥行 40 mm × 高さ 180 mm（突起部、コネクタ除く）
* **主な接ガス部材質**：ステンレススチール、フッ素ゴム等
* **動作環境温度**：5 〜 50 ℃
* **推奨取付姿勢**：水平設置（仕様維持のため）