中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
堀場エステック Stec
型式SEC7330M
年式表記：
仕様:O2 500sccm、Ar 100sccm バルブユニット
仕様:O2 500sccm、Ar 100sccm バルブユニット
本体価格(税別、送料別)
80,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、高精度なガス流量制御を実現するメタルシール方式の熱式マスフローコントローラーです。ガス接触部をすべて金属で構成したオールメタルシール構造を採用することで、外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで抑制し、優れたクリーン度と高い気密性を保持します。半導体製造プロセスや各種薄膜形成、プロセスガス制御、研究開発分野など、厳密な雰囲気制御が求められる環境に適しています。
流量変化への追従性に優れており、全流量域において1.0秒以内という高速な応答性能を実現しています。また、周囲の温度変化や一次側・二次側の圧力変動に左右されにくい安定した測定および制御を維持します。
メーカーの標準仕様において、本型式は中流量レンジ（窒素換算10slm〜20slm）をカバーするモデルですが、本個体は酸素（O2）で500sccm、アルゴン（Ar）で100sccmの流量制御に対応した仕様となっております。さらに、流路の確実な開閉をサポートするバルブユニットを搭載（または付属）しており、システム構成に合わせた安定した自動流量制御システムを構築可能です。
【AIによる参考仕様】
・シール方式：メタルシール
・メーカー標準流量範囲（N2換算）：10slm〜20slm
・本個体ガス・流量仕様：酸素（O2）500sccm、アルゴン（Ar）100sccm
・応答時間：1.0秒以内（全流量範囲）
・流量制御範囲：2%〜100% F.S.（フルスケール）
・精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・外部リーク量：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He）以下
・接続継手：1/4 VCR相当
・制御バルブ：ソレノイド駆動方式（バルブユニット仕様）
・通信方式：RS-485デジタル通信、およびアナログ通信
・動作温度範囲：5℃〜50℃
・耐圧：1MPa
本装置は、高精度なガス流量制御を実現するメタルシール方式の熱式マスフローコントローラーです。ガス接触部をすべて金属で構成したオールメタルシール構造を採用することで、外部へのガス漏洩（リーク）を極限まで抑制し、優れたクリーン度と高い気密性を保持します。半導体製造プロセスや各種薄膜形成、プロセスガス制御、研究開発分野など、厳密な雰囲気制御が求められる環境に適しています。
流量変化への追従性に優れており、全流量域において1.0秒以内という高速な応答性能を実現しています。また、周囲の温度変化や一次側・二次側の圧力変動に左右されにくい安定した測定および制御を維持します。
メーカーの標準仕様において、本型式は中流量レンジ（窒素換算10slm〜20slm）をカバーするモデルですが、本個体は酸素（O2）で500sccm、アルゴン（Ar）で100sccmの流量制御に対応した仕様となっております。さらに、流路の確実な開閉をサポートするバルブユニットを搭載（または付属）しており、システム構成に合わせた安定した自動流量制御システムを構築可能です。
【AIによる参考仕様】
・シール方式：メタルシール
・メーカー標準流量範囲（N2換算）：10slm〜20slm
・本個体ガス・流量仕様：酸素（O2）500sccm、アルゴン（Ar）100sccm
・応答時間：1.0秒以内（全流量範囲）
・流量制御範囲：2%〜100% F.S.（フルスケール）
・精度：±1.0% F.S.
・再現性：±0.2% F.S.
・外部リーク量：1×10⁻¹¹ Pa・m³/s（He）以下
・接続継手：1/4 VCR相当
・制御バルブ：ソレノイド駆動方式（バルブユニット仕様）
・通信方式：RS-485デジタル通信、およびアナログ通信
・動作温度範囲：5℃〜50℃
・耐圧：1MPa