中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-790
年式表記：
仕様:ガスSiH4 流量500SCCM W120 D35 H175
仕様:ガスSiH4 流量500SCCM W120 D35 H175
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスなどの高度なクリーン環境で豊富な実績を持つ、メタルシール方式のアナログマスフローコントローラーです。対象ガスには高い反応性を持つSiH4（シランガス）が設定されており、最大流量500 SCCMの領域で極めて精密な流量制御を行います。
メタルシール構造の採用により、優れた外部リークレート（1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下）を誇り、腐食性・可燃性ガスの安全なハンドリングと外気混入防止を両立しています。応答速度は2秒以下と迅速で、プロセス変化に対して素早く追従します。また、経年変化に強く、長期にわたり±0.2% F.S.の高い再現性を維持するため、薄膜堆積や微細加工プロセスにおけるガス供給の安定化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス:** SiH4 (シラン)
* **フルスケール流量:** 500 SCCM
* **シール構造:** メタルシール
* **接ガス部材質:** SUS316L等
* **流量制御精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **直線性:** ±0.5% F.S.
* **応答時間:** 2.0秒以下
* **動作差圧範囲:** 100 ～ 300 kPa
* **耐圧:** 1.0 MPa
* **外部リーク量:** 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御入出力信号:** 0 ～ 5 VDC
* **動作電源:** ±15 VDC
* **外形寸法:** W120 mm × D35 mm × H175 mm
本装置は、半導体製造プロセスなどの高度なクリーン環境で豊富な実績を持つ、メタルシール方式のアナログマスフローコントローラーです。対象ガスには高い反応性を持つSiH4（シランガス）が設定されており、最大流量500 SCCMの領域で極めて精密な流量制御を行います。
メタルシール構造の採用により、優れた外部リークレート（1.0×10⁻¹¹ Pa・m³/sec以下）を誇り、腐食性・可燃性ガスの安全なハンドリングと外気混入防止を両立しています。応答速度は2秒以下と迅速で、プロセス変化に対して素早く追従します。また、経年変化に強く、長期にわたり±0.2% F.S.の高い再現性を維持するため、薄膜堆積や微細加工プロセスにおけるガス供給の安定化に貢献します。
【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス:** SiH4 (シラン)
* **フルスケール流量:** 500 SCCM
* **シール構造:** メタルシール
* **接ガス部材質:** SUS316L等
* **流量制御精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **直線性:** ±0.5% F.S.
* **応答時間:** 2.0秒以下
* **動作差圧範囲:** 100 ～ 300 kPa
* **耐圧:** 1.0 MPa
* **外部リーク量:** 1.0 × 10⁻¹¹ Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御入出力信号:** 0 ～ 5 VDC
* **動作電源:** ±15 VDC
* **外形寸法:** W120 mm × D35 mm × H175 mm