中古 マスフローコントローラー（MFC）
メーカー名
Aera
型式FC-770AC
年式表記：
仕様:ガス:CHF3 流量:100SCCM
仕様:ガス:CHF3 流量:100SCCM
本体価格(税別、送料別)
30,000円
【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種研究開発プロセスにおいて、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログタイプのエラストマーシールマスフローコントローラーです。制御バルブにはソレノイド駆動による常時閉（Normally Closed）方式を採用しており、非通電時や緊急時のガス遮断性を確保しています。
本個体は、エッチングプロセス等で広く使用されるCHF3（三フッ化メタン）ガス専用として調整されており、最大流量100 SCCMの微小流量域において優れた制御性を発揮します。応答速度は2秒以下と高速であり、プロセスの急激な変化に対しても迅速かつ安定した追従が可能です。定評のあるアナログ回路設計により、既存の制御システムへの組み込みや、経年劣化した同系統装置の交換用パーツとしても適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種:** CHF3（三フッ化メタン）
* **最大流量（フルスケール）:** 100 SCCM
* **流量制御範囲:** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 2.0秒以下（F.S. 98%到達時間）
* **バルブ動作形式:** 常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **バルブ駆動方式:** ソレノイドアクチュエータ
* **シール材質:** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **動作差圧範囲:** 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧:** 最大 1.0 MPa
* **外部リーク量:** 1.0 × 10^-11 Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御信号:** 0 〜 5 VDC（設定入力および流量出力）
* **動作電源:** ±15 VDC (±5%)
* **電気コネクタ:** D-sub 9ピン（プラグ）
本装置は、半導体製造や各種研究開発プロセスにおいて、気体の質量流量を精密に測定・制御するアナログタイプのエラストマーシールマスフローコントローラーです。制御バルブにはソレノイド駆動による常時閉（Normally Closed）方式を採用しており、非通電時や緊急時のガス遮断性を確保しています。
本個体は、エッチングプロセス等で広く使用されるCHF3（三フッ化メタン）ガス専用として調整されており、最大流量100 SCCMの微小流量域において優れた制御性を発揮します。応答速度は2秒以下と高速であり、プロセスの急激な変化に対しても迅速かつ安定した追従が可能です。定評のあるアナログ回路設計により、既存の制御システムへの組み込みや、経年劣化した同系統装置の交換用パーツとしても適しています。
【AIによる参考仕様】
* **対応ガス種:** CHF3（三フッ化メタン）
* **最大流量（フルスケール）:** 100 SCCM
* **流量制御範囲:** 2% 〜 100% F.S.
* **流量精度:** ±1.0% F.S.
* **再現性:** ±0.2% F.S.
* **応答時間:** 2.0秒以下（F.S. 98%到達時間）
* **バルブ動作形式:** 常時閉（Normally Closed / N.C.）
* **バルブ駆動方式:** ソレノイドアクチュエータ
* **シール材質:** エラストマー（フッ素ゴム等）
* **動作差圧範囲:** 49 kPa 〜 294 kPa
* **耐圧:** 最大 1.0 MPa
* **外部リーク量:** 1.0 × 10^-11 Pa・m³/sec (He) 以下
* **制御信号:** 0 〜 5 VDC（設定入力および流量出力）
* **動作電源:** ±15 VDC (±5%)
* **電気コネクタ:** D-sub 9ピン（プラグ）