中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや各種産業用ガス制御で広く実績を持つ、アナログインターフェース搭載のサーマル方式マスフローコントローラーです。高精度な熱式流量センサーと電磁式比例バルブの組み合わせにより、対象ガスの微小な流量変化に対しても安定かつ迅速な応答性を発揮します。今回の個体は、窒素ガス（N2）仕様、最大流量3SLMにキャリブレーションされており、各種プロセスへの安定したガス供給に適しています。経年劣化に強いメタルシール構造を採用しており、長期間にわたり外部漏れ（リーク）を極小に抑えた安全な運用が可能です。コンパクトな筐体設計により、限られたチャンバー周辺やガスパネル内のスペースにも効率的に組み込むことができます。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** 窒素（N2）
* **最大流量（フルスケール）：** 3 SLM（Standard Liters per Minute）
* **センサー方式：** 熱式（サーマル）流量センサー
* **シール構造：** メタルシール
* **制御バルブ：** 常閉（Normally Closed）
* **応答時間：** 約2秒以下（代表値）
* **外形寸法：** 幅 130 mm × 奥行 25 mm × 高さ 110 mm（突起部除く）
* **電気接続（コネクタ仕様）：** D-sub 9ピン（アナログ仕様）