中古機 マスフローコントローラー（MFC） MKS製、型式1480A-25077のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、気体の質量流量を正確に測定するための熱式質量流量計（マスフローメーター）です。流量制御バルブを持たないモニター専用仕様であり、ガス供給ラインにおける正確な流量監視に特化しています。

測定対象ガスは窒素（N2）に対応しており、フルスケール40 sccmの微小流量域において、±1.0% F.S.の高い測定精度と、±0.2% F.S.の優れた再現性を発揮します。周囲の温度や圧力変動の影響を受けにくい熱式センサ技術を採用しているため、安定した連続測定が可能です。

半導体プロセス、各種研究開発用の実験設備、分析装置のガス供給システムなど、緻密なガス流量監視が求められる環境に適しています。
（※本モデルは流量の「測定・監視」を行うメーター仕様であり、流量制御バルブは内蔵されておりません）

【AIによる参考仕様】
* **機器タイプ**: 熱式質量流量計（マスフローメーター）
* **対象ガス**: 窒素（N2）
* **フルスケール流量**: 40 sccm
* **測定精度**: ±1.0% F.S.（フルスケール）
* **再現性**: ±0.2% F.S.
* **応答時間**: 2.0秒以下（ステップ変化に対し最終値の98%に達する時間）
* **出力信号**: 0 〜 5 VDC (リニア)
* **電源仕様**: ±15 VDC (±5%)、最大100 mA
* **最大使用圧力**: 150 psig (約1.03 MPa)
* **耐圧力**: 500 psig (約3.45 MPa)
* **動作周囲温度**: 0 〜 50℃
* **接ガス部主要材質**: ステンレススチール（SUS316相当）、エラストマーシール
* **電気コネクタ**: D-sub 15ピン