中古機 マスフローコントローラー（MFC） 堀場エステック　Stec製、型式SEC-4400RCｰAVのご紹介

【AIによる装置概要】
本機は、半導体製造プロセスや各種工業用途、研究開発において、ガスの質量流量を高精度に計測・制御するための質量流量制御器です。熱式流量センサーと高分解能な制御バルブを一体化しており、環境温度や配管内の圧力変動による影響を受けずに、目的のガス流量を正確かつ安定して供給する役割を担います。

本シリーズは、主に10L/min〜最大50L/min（SLM）程度の中〜大流量域に対応するモデルとして設計されています。内部の気密を保つシール材にはラバー（フッ素ゴム等）を採用しており、窒素、アルゴン、空気、酸素といった非腐食性の一般ガスラインでの使用に適しています。また、入出力インターフェースとして0～5VDCのアナログ電圧信号を採用した仕様であり、既存のアナログ制御システムやPLC等への組み込みが容易な設計です。

制御性能としては、フルスケールに対して±1.0%の流量精度を確保し、設定値に対して約1秒以内（T98）で到達する高速応答性を備えています。流量制御範囲はフルスケールの2%～100%と広く、成膜プロセスや熱処理炉、分析機器など、客観的で正確な流量管理が要求される多様なシステムにおいて、信頼性の高いガス供給を実現します。

【AIによる参考仕様】
適用ガス：非腐食性一般ガス（N2、Air、Ar、O2など）
フルスケール流量（N2換算）：10 SLM ～ 50 SLM クラス（※個体の設定値に依存）
流量制御範囲：2 ～ 100% F.S.
流量精度：±1.0% F.S.
応答速度：1秒以内（T98）
入出力信号：アナログ 0 ～ 5 VDC
所要電源：±15 VDC
シール材質：ラバー（フッ素ゴム等）
バルブ形式：ノーマリークローズ（非通電時閉）
動作温度範囲：5 ～ 50 ℃
耐圧：1.0 MPa(G)

※本製品は中古品のため、実際のフルスケール流量設定値、対象ガス種設定、および校正状態は個体ごとに異なります。導入時は銘板の設定内容をご確認ください。