中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-260Jのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や各種精密産業プロセスにおいて、気体の質量流量を正確に測定・制御するために設計されたアナログ式のマスフローコントローラーです。窒素（N2）ガス用に調整されており、最大5SLM（Standard Liters per Minute）までの流量域において、安定した制御性能を発揮します。
内部には信頼性の高い熱式質量流量センサと電磁式コントロールバルブを搭載しており、温度や供給圧力の変動に影響されることなく、正確な質量流量の維持が可能です。外部からのアナログ制御信号（0-5VDC）に応答し、設定値に対して迅速かつ高精度に流量を自動調整します。長年にわたり業界で採用されてきた実績を持ち、堅牢な構造と優れた再現性を両立しています。幅130mm、奥行25mm、高さ110mmのコンパクト設計により、既存のガスパネルや装置内への組み込み・リプレイスもスムーズに行えます。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：N2（窒素）
・最大制御流量：5 SLM
・制御方式：アナログ
・入出力信号：0～5 VDC
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2秒以内
・バルブ動作：ノーマリークローズ（N.C. / 常時閉）
・推奨動作差圧：98 ～ 294 kPa
・耐圧性能：最大 1.0 MPa
・必要電源：DC±15V (±5%)
・コネクタ形状：D-sub 9ピン（オス）
・接ガス部材質：SUS316L、フッ素ゴム等
・外形寸法：W130 mm × D25 mm × H110 mm
・継手仕様：1/4インチ VCR相当（面間寸法 130mm）