中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造や薄膜堆積プロセス、エッチング装置などの精密なガス制御を必要とするシステムにおいて、ガスの質量流量を高精度に測定・制御するデジタルマスフローコントローラーです。シール部には耐化学薬品性に優れたエラストマー素材を採用しており、高い気密性と優れたメンテナンス性を両立している点が特徴です。

内部のデジタル信号処理により、外部ノイズの影響を最小限に抑えながら、高速かつ安定した応答特性を実現しています。これにより、プロセスの初期段階から安定したガス供給が可能となり、歩留まりの向上や再現性の確保に貢献します。

本個体は、対象ガスとしてフッ素系ガス（CF3）、最大流量100SCCMの流量レンジに調整・校正されています。クリーンルーム内での精密な研究開発から生産ラインまで幅広く対応可能な信頼性の高い設計となっています。

【AIによる参考仕様】
・制御対象ガス：CF3（トリフルオロメチル）
・最大流量：100 SCCM
・シール材質：エラストマー（ゴムシール構造）
・バルブ動作：ノーマリークローズ（非通電時閉）
・流量精度：±1.0% F.S.（フルスケール）
・再現性：±0.2% F.S.
・応答時間：2.0秒以下（定常値の±2%以内に到達する時間）
・外形寸法：W130 mm × D40 mm × H170 mm（接続継手等の突起部を含む）
・動作温度範囲：5℃〜50℃
・最大動作圧力：約300 kPa（一次側・二次側差圧：50〜300 kPa推奨）