中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980Cのご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスをはじめとする高度な微細加工技術において広く採用されている、信頼性の高いデジタルマスフローコントローラーです。接ガス部には、塩素（Cl2）などの反応性・腐食性が極めて高いガスに対しても優れた耐久性を発揮する高耐食性金属材料が採用されており、過酷な稼働環境下でも経時変化の少ない安定した流量制御を行います。デジタル通信インターフェース（DeviceNet規格）に対応しており、ノイズに強く高精度な流量設定とリアルタイムなステータス監視が可能です。最大流量200SCCMの精密な制御能力と迅速な応答性を備え、プロセスの再現性向上に貢献します。さらに、メタルシール構造の採用により、外部へのガス漏洩を極限まで防ぐ高い気密性を確保。安全性とクリーン性が要求されるガス供給系に最適な仕様となっています。

【AIによる参考仕様】
・対応ガス：Cl2（塩素ガス）
・フルスケール流量：200 SCCM
・通信仕様：DeviceNet（デジタル通信）
・シール構造：メタルシール
・外形寸法：W125 mm × D37 mm × H180 mm
・接ガス部材質：SUS316L（高耐食性ダブルメルト材）、ハステロイ、Ni-Co合金等
・制御精度：±1.0% S.P.（セットポイント：代表値）
・再現性：±0.2% F.S.（フルスケール）
・応答速度：約1.0〜2.0秒
・動作差圧範囲：約50〜300 kPa
・耐圧：最大 1.0 MPa