中古機 マスフローコントローラー（MFC） Aera製、型式FC-D980のご紹介

【AIによる装置概要】
本装置は、半導体製造プロセスや薄膜形成装置などの精密なガス供給ラインで使用される、デジタル通信対応のメタルシール型マスフローコントローラ（MFC）です。気密性と耐食性に優れたメタルシール構造を採用しており、クリーン環境下での高純度ガス制御に適しています。対象ガスはSF6（六フッ化硫黄）に対応し、最大流量200 SCCM（Standard Cubic Centimeters per Minute）の仕様となっています。

インターフェースにはDeviceNetを採用しており、デジタル通信を介したリアルタイムな流量測定値の取得や、正確な流量設定の制御が可能です。省スペース設計（幅125mm、奥行30mm、高さ135mm）により、ガスパネル内への高密度な配置に対応します。熱式センサーによる高い再現性と、高速な応答性能を備えた信頼性の高い流量制御デバイスです。

【AIによる参考仕様】
* **制御対象ガス：** SF6（六フッ化硫黄）
* **フルスケール流量：** 200 SCCM
* **シール材質：** メタルシール
* **通信プロトコル：** DeviceNet
* **応答時間：** 1.0秒以下
* **流量制御範囲：** 2% ～ 100% F.S.（フルスケール）
* **制御精度：**
* セットポイントの ±1.0%（20% ～ 100% F.S. 動作時）
* フルスケールの ±0.2%（2% ～ 20% F.S. 動作時）
* **再現性：** ±0.2% F.S.
* **バルブタイプ：** ノーマリークローズ（N.C.）
* **接続継手：** 1/4インチ VCR互換
* **外形寸法：** 幅 125 mm × 奥行 30 mm × 高さ 135 mm